蘇州矽時代電子科技有限公司（Si－Era），位於(yu) 國內(nei) 最的大的MEMS產(chan) 業(ye) 集聚區——蘇州納米城。利用MEMS領域近20年的技術積累，在MEMS傳(chuan) 感器、生物MEMS、光學MEMS以及射頻MEMS方麵都擁有大量的設計和工藝經驗。

微納米加工的圖形化工藝主要分為(wei) 圖形轉移和直接加工兩(liang) 種技術，圖形轉移技術包括三個(ge) 部分：薄膜沉積，圖形成像，圖形轉移。而直接加工的激光束蝕刻技術具備直寫(xie) 能力，避免的圖形轉移的多步工藝，通過控製聚焦的高能激光（短波／脈衝(chong) ）束直接在刻蝕材料製作微細結構，具備微米／亞(ya) 微米的薄膜蝕刻加工精度，適用於(yu) 多種材料，實現三維的微結構的製作。

微納製造技術是指尺度為(wei) 毫米、微米和納米量級的零件，以及由這些零件構成的部件或係統的設計、加工、組裝、集成與(yu) 應用技術。傳(chuan) 統“宏”機械製造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”係統的高精度製造和裝配加工要求，必須研究和應用微納製造的技術與(yu) 方法。微納製造技術是微傳(chuan) 感器、微執行器、微結構和功能微納係統製造的基本手段和重要基礎。

微納製造包括微製造和納製造兩(liang) 個(ge) 方麵。

（1）微製造 有兩(liang) 種不同的微製造工藝方式，一種是基於(yu) 半導體(ti) 製造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等，這些工藝技術方法較為(wei) 成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設備昂貴等問題，且隻能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件，無法進行複雜的三維微機械零件的加工；另一種是機械微加工，是指采用機械加工、特種加工及其他成形技術等傳(chuan) 統加工技術形成的微加工技術，可進行三維複雜曲麵零件的加工，加工材料不受限製，包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鑽削、微衝(chong) 壓、微成形等。

（2）納製造 納製造是指具有特定功能的納米尺度的結構、器件和係統的製造技術，包括納米壓印技術、刻劃技術、原子操縱技術等。