大族激光8月10日在互動平台表示,公司在研光刻機項目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方麵的應用,目前已接到少量訂單。
光刻機是製造芯片的核心裝備。它采用類似照片衝(chong) 印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到矽片上。而光刻機是中國芯片發展的最大障礙。
眾(zhong) 所周知,高端芯片製造所需的光刻機一直以來被荷蘭(lan) ASML公司壟斷,一台精密光刻機售價(jia) 上百億(yi) ,而我國半導體(ti) 行業(ye) 起步較晚,光刻機技術與(yu) ASML的差距非常大。
具體(ti) 地,我國光刻機最高技術也就上海微電子所生產(chan) 的90nm光刻機。除此之外,目前合肥芯碩半導體(ti) 公司也具備量產(chan) 200nm光刻機的實力,無錫影幻半導體(ti) 公司也具備200nm光刻機量產(chan) 的實力。而ASML則在7nm級別。
簡單來看,這些數字差距可能看起來不大,但事實上,90nm跟28nm或者是7nm是千差萬(wan) 別的,光刻機每上一個(ge) 台階技術難度就會(hui) 大大增加,可能從(cong) 90nm升級到65nm並不難,但是從(cong) 65nm升級到45nm,就是一個(ge) 技術節點了,至於(yu) 28nm、14nm和7nm,甚至未來有可能出現的3nm,那難度就更大了。也正因為(wei) 如此,我國的光刻機的研發進度一直都比較緩慢。
據有關(guan) 媒體(ti) 報道,光刻機正成為(wei) 華為(wei) 的第四場戰役。據悉,餘(yu) 承東(dong) 在一次百人大會(hui) 上的時候透露過,早在四年前,華為(wei) 就已經為(wei) 接下來集團的布局做好準備了,他們(men) 在2016年的時候就已經成立了團隊去研發光刻機,現在已經取得了很大的進展。
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