我們(men) 對飛秒技術的了解可能僅(jin) 限於(yu) 可以用來治療近視，但除此之外基於(yu) 飛秒激光的多光子聚合增才製造技術同時也廣泛應用於(yu) 微機電、微光學、生物結構等領域的3D打印微納結構製造。

近日，中科院上海光學機密機械研究所薄膜光學實驗室發布了最新研究成果：通過優(you) 化SU-8光刻膠中的溶劑含量來細化多光子聚合（Multiphoton polymerization, MPP）特征尺寸。

研究過使用負性環氧光致抗蝕劑SU-8，並設置各種預烘烤時間以獲得不同的溶劑含量來探討溶劑含量對多光子聚合中聚合特征尺寸的影響。

研究發現了一種便捷的方法：利用長焦距和單脈衝(chong) 下曝光，以評估溶劑的影響。通過在顯微鏡下測量聚合物尺寸，結果表明，溶劑含量僅(jin) 損失4％的情況下，聚合物直徑減少了約40％。由於(yu) 較少的溶劑，光離子誘導的H+陽離子從(cong) 高濃度區到低濃度區的遷移率受到抑製，從(cong) 而導致了聚合物特征尺寸細化。

綜上所述，蒸發溶劑含量可以改善SU-8 2075光刻膠中MPP的特征尺寸。通過將溶劑含量減少約4％，可將聚合物直徑減少約40％。

溶劑含量的調整顯示出其在不影響聚合度的情況下細化多光子聚合的特征尺寸的潛力，為(wei) 優(you) 化多光子聚合加工精度提供了新思路。

論文鏈接：

https://doi.org/10.1016/j.optmat.2021.110800