全金屬封離型射頻激勵擴散冷卻板條波導CO2激光器,一般簡稱為(wei) CO2射頻板條激光器。
ZAMIA 的 Q係列射頻激光器就屬於(yu) 板條波導CO2激光器,下麵小特將以Q係列為(wei) 例,為(wei) 大家一一剖析,
——“ 射頻板條波導CO2激光器為(wei) 何需要光束整形 ”
/ Q 係 列 射 頻 激 光 器 /
不同於(yu) 全波導的CO2激光器,板條波導CO2激光器的放電區是由兩(liang) 塊相對平行放置的間隔為(wei) 毫米的長方形金屬板條構成。
兩(liang) 個(ge) 全反射鏡安裝在兩(liang) 金屬板條兩(liang) 端,組成激光器諧振腔,用於(yu) 提取激光。腔鏡帶有曲率,曲率半徑短的為(wei) 前腔鏡,曲率半徑較長的為(wei) 後腔鏡,前腔鏡短於(yu) 後腔鏡,兩(liang) 腔鏡一側(ce) 對齊安裝,激光束從(cong) 前腔鏡的另一側(ce) 輸出。如下圖
在此空間內(nei) 發生放電,產(chan) 生增益介質。同時,在兩(liang) 片諧振腔之間振蕩的激光往返多次通過此區域。
每次激光束通過此區域時,在高度方向和寬度方向上傳(chuan) 輸規律不同,在寬度方向上,由於(yu) 寬度方向的尺寸遠大於(yu) 激光光束的尺寸,所以,激光束在此方向上是不受約束的自由通過。
而在高度方向上,由於(yu) 高度方向的尺寸和激光光束的尺寸相當,所以,每次激光束在此方向上受約束通過。
激光束在腔內(nei) 多次振蕩,通過兩(liang) 極板間的平片空間,在前鏡的一側(ce) 輸出,造成最終輸出的激光光束在寬度和高度方向上的不對稱。激光束表現在兩(liang) 個(ge) 方向上的發散角和光斑大小不同,在寬度方向上的發散角小,高度方向上的發散角大,即兩(liang) 個(ge) 方向的光束質量不同。
從(cong) 上圖可以看出,激光光束隨著傳(chuan) 輸距離不同,光斑形狀發生變化,在遠場為(wei) 一橢圓光斑。
這種激光光束直接聚焦,在焦點位置得到的也是一橢圓光斑。這將會(hui) 導致加工時兩(liang) 個(ge) 方向的線條粗細不一致,切割效果不同,最終影響加工效果。
所以為(wei) 了得到兩(liang) 個(ge) 方向的發散角相同,光斑大小相同的激光光束,需要對上述的不對稱激光光束進行整形,使其兩(liang) 個(ge) 方向的光束質量因子相同,得到圓對稱的準基模高斯光束。讓激光打標機,激光切割機,激光雕刻機等激光加工設備可以得到圓形的聚焦光斑。
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