俄羅斯國立研究型大學莫斯科電子技術學院科研人員,使用激光脈衝(chong) 代替光刻開發出了一種為(wei) 信息顯示設備創建元件的新技術。這將加速降低下一代顯示器和各種光學係統超表麵的生產(chan) 成本。研究結果發表在新一期《應用表麵科學》上。
超表麵是帶有周期性圖案的結構,可用於(yu) 控製電磁波和光波。在此基礎上,可使用介電材料、金屬材料以及相變材料。而相變材料能改變相態,從(cong) 而改變取決(jue) 於(yu) 外部輻射的特性。
在由相變材料GST(鍺—銻—碲係統的化合物)製成的超表麵的基礎上,研究人員開發了能借助光波顯示信息的新型緊湊型設備。其中包括超薄顯示器、增強現實和虛擬現實耳機以及全息投影儀(yi) 。然而,對薄膜表麵進行納米結構化以將其轉變為(wei) 多功能表麵的過程,迄今仍使用勞動密集型且成本高昂的光刻技術進行。首先要在模板(掩模)上創建必要的超表麵圖像,然後以選定的分辨率將其轉移到物體(ti) 上。
為(wei) 了降低薄膜結構形成的成本並加快這一過程,莫斯科電子技術學院聯合其他科研機構使用激光脈衝(chong) 代替光刻。研究人員稱,借助超短脈衝(chong) 的激光輻照,可更快、更容易地在GST上創建有序的納米結構。要形成有序的表麵,利用預先實現的過程,即在激光的作用下破壞之前的材料。解決(jue) 方案的主要優(you) 勢是脈衝(chong) 觸發表麵上結構的自我組織。根據脈衝(chong) 的強度和數量,可能形成3種不同類型的結構,其中最令人好奇的是周期性排列的相同尺寸的納米球。這些形狀很難形成,其半徑可達150納米。
以前,如果不使用額外的技術,就無法在這些材料中獲得它們(men) ,但現在,除了激光裝置和薄膜本身之外,獲得同一樣式的納米球不需要任何設備。這些球體(ti) 是由於(yu) 熔化的細絲(si) 衰變而產(chan) 生的。在此情況下,激光照射能量的增加會(hui) 引起傳(chuan) 質過程,從(cong) 而導致納米球鏈轉變為(wei) 周期性浮雕。上述技術使得創建高度有序的納米透鏡和光學納米光柵成為(wei) 可能,並有望進一步與(yu) 各種光學係統一體(ti) 化,包括信息顯示係統。
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