導讀：隨著力量和能量的增加，物理閾值麵臨(lin) 更嚴(yan) 格的考量。光學設計也必須做出相應調整。

“高功率”的含義(yi) 因行業(ye) 而異。例如，工業(ye) 應用所需的高功率與(yu) 生物醫學領域所需的高功率大相徑庭。

高功率的可識別屬性也因應用而異。清潔能源研究優(you) 先考慮極端能源水平下的精度和控製，而軍(jun) 事和國防部門則將重點放在光束質量和環境適應性上。

角立方體(ti) 逆反射器可在大範圍的入射角上進行關(guan) 係密逆反射，這在難以實現精確對準或存在振動的應用中非常有用。

工業(ye) 應用需要在功率、成本和安全之間取得平衡。該領域通過提高切割、焊接和材料加工等主要工藝的效率和精度來實現高功率。由於(yu) 該領域的需求和應用，工業(ye) 功率水平無法與(yu) 能源研究和國防領域使用的功率相提並論。

不過，在尋求實現、部署和優(you) 化高功率源性能的過程中，仍然會(hui) 遇到一些常見的挑戰。盡管“高功率”一詞的含義(yi) 不盡相同，但為(wei) 提高耐用性、精度和控製性所做的努力正在推動技術領域的進步。

工業(ye) 需求

供應和市場需求是工業(ye) 激光器發展的共同驅動力。半導體(ti) 製造業(ye) 和汽車製造業(ye) 等行業(ye) 一直在追求更高的精度和效率，這需要開發商和製造商提供越來越先進的激光器。

這種需求也決(jue) 定了激光光學元件的的性能規格。這些元件的製造商努力生產(chan) 出聚焦更精細、必要時功率更大、耐用性更強的光學器件。

高功率激光係統越來越容易受到激光誘導的損傷(shang) ，例如玻璃表麵的損傷(shang) ，這是使用微分幹涉對比顯微鏡捕獲的。

在Edmund Optics公司，這種動態往往會(hui) 引發有關(guan) 實際部署高功率光源和激光光學器件的問題。該公司激光光學業(ye) 務集團高級主管斯特凡·範德林斯（Stefaan Vandrenriessche）表示，每當工業(ye) 激光製造商準備向新一代高能係統邁進時，熟悉的問題就會(hui) 再次浮現。

其中包括：“這麽(me) 大的功率能做什麽(me) ？”以及“你會(hui) 用這麽(me) 大的功率用來做什麽(me) ？”

這些問題與(yu) 其說阻礙了工業(ye) 激光技術的發展，不如說是開發商和製造商在開發新產(chan) 品時最大限度地提高效率的一種方式。一旦更高功率的激光係統上市銷售，來自工業(ye) 領域的客戶就會(hui) 迅速發現新功率等級所帶來的新應用。

盡管由於(yu) 物理定律或生產(chan) 需求的原因，一些標準工藝（例如1至12kW範圍內(nei) 的工藝）已經達到了其極限，但在持續推動新的高功率激光需求和應用的背後，還存在其他因素。

通快北美激光器高級產(chan) 品經理特蕾西·瑞巴（Tracey Ryba）表示：“我們(men) 看到傳(chuan) 統等離子切割客戶的需求增加，因為(wei) 激光的熱影響區更小，零件更清潔，二次應用更靈活。”

在大多數情況下，20kW和30kW激光器的高光束質量遠優(you) 於(yu) 切割性能和光束質量相對較低的40kW和50kW激光器。但航空航天焊接、電動汽車生產(chan) 以及重型機械和農(nong) 業(ye) 設備的大幅增加，使得對10-20kW激光器的需求不斷增加。

Ryba說：“電動汽車和儲(chu) 能裝置需要使用厚銅母線，這就需要高功率和優(you) 良的光束質量，而薄箔堆疊則需要高功率可見光波長激光器來實現有效焊接。”

先進的製造應用也需要更高的功率。Ryba說，通快的極紫外（EUV）項目需要功率大於(yu) 120千瓦的CO₂激光器進行光刻。現代計算機芯片通常采用納米尺寸，製造商使用紫外準分子激光器生產(chan) 芯片，要想製造出更小的結構尺寸（小於(yu) 10 納米），就需要使用更短的 EUV 波長。

然而，在芯片製造廠生產(chan) 的13.5nm臨(lin) 界波長的等離子體(ti) 輻射需要數兆瓦的峰值脈衝(chong) 功率。而使用放大器增強的CO₂激光脈衝(chong) 平均功率僅(jin) 為(wei) 幾瓦，便能達到這一水平。

電動汽車和儲(chu) 能裝置使用厚銅母線，這需要高功率和優(you) 良的光束質量，而薄金屬箔堆則需要高功率可見光波長激光器進行有效焊接。

激光性能的核心考慮因素可能因行業(ye) 而異。定向能源和國防領域對高功率和光束質量的要求很高。在工業(ye) 領域，提高切割和焊接等工藝的效率和精度是必然的。

最近，通快公司以及光刻專(zhuan) 家ASML、光學係統製造商蔡司合作開發了一套CO₂激光係統，其峰值功率大於(yu) 120千瓦。該係統使用了五個(ge) 放大器將功率提高了10,000倍，從(cong) 而產(chan) 生了數十千瓦的平均脈衝(chong) 功率和數兆瓦的峰值脈衝(chong) 功率。該係統每小時可處理>100塊基板。

跨領域進展

定向能源和國防應用是對高功率和激光束質量的要求最高的領域之一。以技術發展的典型方式，製造商從(cong) 嚴(yan) 格的技術發展中獲得的見解通常會(hui) 影響商業(ye) 產(chan) 品的設計。

Edmund公司的Vandrenliessche說：“國防和工業(ye) 對光學元件的要求有很大的重疊。這種技術的涓滴效應表現在高功率激光演示裝置首次出現在國防應用中，隨後又被納入工業(ye) 產(chan) 品中，並延伸到光學元件本身。”

歐盟資助建立的三個(ge) 大型激光設施就是一個(ge) 真實的例子。這些可提供千萬(wan) 瓦級激光功率的設施中的大型激光源對於(yu) 科研界來說是一個(ge) 至關(guan) 重要的資源。根據設想，這些基礎設施將推動粒子加速、藥物發現和基礎科學研究方麵取得進展。

除了與(yu) 科研有明確的聯係之外，超高功率、高能量係統使用的光學元件也展示了大量的行業(ye) 專(zhuan) 有技術。

LASEROPTIK GmbH 塗層設計團隊負責人Thomas Willemsen說：“激光器的高輸出功率對光學元件提出了極高的要求，例如將激光束引導到不同目標腔室以進行相應實驗所需的光束傳(chuan) 輸鏡。需要440×290平方毫米的反射鏡來降低光學器件本身的流變性。”

LASEROPTIK 塗層工程師和來自ELI-ERIC（歐盟資助的三家機構之一）的激光科學家正在合作開發具有改進的激光誘導損傷(shang) 閾值（LIDT）和其他特性的光束傳(chuan) 輸鏡，以防止大尺寸光學器件的損壞。合作團隊在LASEROPTIK GmbH公司建造了一個(ge) 新穎的大尺寸濺射鍍膜室。Willemsen說：“首先在小尺寸光學器件上製造了幾種設計策略，並在ELI-ERIC的專(zhuan) 用激光幹涉儀(yi) 測量裝置上進行了測試。在合作過程中，性能最佳的塗層將在大尺寸基板上製造，並在ELI-ERIC的真空管中再次進行測試。”

盡管這些合作的目標仍然是一個(ge) 瓶頸，但旨在管理巨大能量輸出而不損壞單個(ge) 光學器件的跨部門研究項目的頻率仍然很高。應對這一挑戰的努力包括研究先進的材料和塗層、提高表麵質量的製造技術以及先進的冷卻技術。

如今，開發激光反射鏡以改進LIDT是一個(ge) 廣泛而活躍的領域。世界各地的研究小組正在開發新的設計策略，並對沉積技術的工藝參數進行評估，以進一步改進介電層堆疊。

這本身就是一項挑戰，因為(wei) 介電層堆疊會(hui) 帶來機械張力。根據所選塗層技術的不同，塗層應力可能是拉伸應力，也可能是壓縮應力。大型幹涉儀(yi) 提供了一種可靠的工具，用於(yu) 測量表麵平整度以及對人造光學器件波麵的影響。

Willemsen說：“如果塗層應力過高，可以采用幾種策略來平衡塗層應力。例如，可以使用預彎基板，或者在背麵沉積經過精心計算的應力補償(chang) 層。”

Willemsen說，通常情況下，在633納米波長、大於(yu) 300毫米的孔徑上，表麵平整度必須小於(yu) λ/10，才能實現高能應用的最佳性能。

供應洞察

高能光源路線圖的其他考慮因素包括激光係統在新興(xing) 應用領域的存在以及新興(xing) 領域的供應需求。在供應方麵，光學元件開發商 Altechna 的首席執行官 Antanas Laurutis認為(wei) ，現在的激光器比以前更好用了。Antanas Laurutis 之所以做出這樣的判斷，是因為(wei) 激光係統現在可以用於(yu) 一些通常或曆史上都不需要其功能的應用領域。

Antanas Laurutis說，隨著激光製造商能夠大規模製造高能量係統，他們(men) 現在支持的商業(ye) 應用越來越多，也越來越受歡迎。激光器變得越來越小，更容易集成到其他係統中，更多的激光製造商和標準化的製造工藝帶來了更好的成本結構。

用於(yu) 沉積直徑達 550mm激光光學元件的大型離子束濺射機。來自LASEROPTIK與(yu) ELI-ERIC設施的塗層工程師和科學家正在合作開發具有更高的激光誘導損傷(shang) 閾值 (LIDT) 的光束傳(chuan) 輸鏡，以防止大尺寸光學器件受損。

從(cong) 簡化集成中受益的增長最快的市場之一是增材製造，該技術具有精確的速度和極少的浪費。

另一個(ge) 正在上升的應用領域尚未進入商業(ye) 成熟期。

Laurutis說：“高能激光係統和光學係統支持量子技術，可用於(yu) 冷卻原子和離子、捕獲和產(chan) 生糾纏。市場仍處於(yu) 新興(xing) 階段，在成本、可擴展性和尺寸方麵還有許多問題需要解決(jue) 。”

LIDT 塑造光學性能

大型光學器件並非隻與(yu) 高能應用相關(guan) 。對於(yu) 許多實驗和前沿研究工作而言，向大型光學器件的轉變自然意味著傳(chuan) 統（較小）光學元件無法適應高功率激光應用的增加。

不過，在大多數工業(ye) 應用中，現有光學元件技術在現有外形尺寸內(nei) 仍有提升功率和能量的空間。工業(ye) 應用傾(qing) 向於(yu) 優(you) 先考慮吞吐量，因此強調可靠的、通常較高的重複率、高能量/功率性能，以提供可重複的結果或規格。而且這些應用需要較長時間的運行。

通快公司的Ryba說：“在工業(ye) 、研究和國防行業(ye) ，高功率光學器件麵臨(lin) 的兩(liang) 大挑戰是光學塗層和熱管理。這兩(liang) 項挑戰可能會(hui) 導致功率損耗和焦距偏移，但在最糟糕的情況下，它們(men) 可能會(hui) 導致元件故障。”

通常情況下，任何激光係統中都有一些地方的能量/功率密度高於(yu) 其他地方。盡管這取決(jue) 於(yu) 係統的幾何形狀，但有些光學器件很容易改變。而其他光學元件則是接觸式的，或者是組裝在一起的。

“對於(yu) 高功率應用，通常會(hui) 盡可能避免使用透射元件。反射更高的功率和能量比通過材料傳(chuan) 輸更容易。”Vandendriessche說，“這意味著反射鏡是最重要的，也是我們(men) 銷售量最大的元件。”

雖然相對較少的透射聚焦元件和濾波器的製造仍極具挑戰性，但大功率係統中的反射鏡可以是平麵鏡、凹麵鏡或離軸拋物麵鏡。由於(yu) 一個(ge) 部件的故障很可能導致多個(ge) 部件的損壞，因此 LIDT 是一個(ge) 需要量化的關(guan) 鍵參數。這種測量方法基於(yu) 統計分析，通過在不同能量水平下對大量樣品進行測試，確定發生損壞的閾值。

然而，目前國際標準化組織（ISO）對LIDT的定義(yi) 模棱兩(liang) 可，可能會(hui) 讓製造商和終端用戶無所適從(cong) ，得不到保護。分類標準包括“明顯損壞”等術語。

Vandendriessche表示，ISO 21254標準仍然是規定LIDT的最常用方法，盡管其缺點已廣為(wei) 人知。他說，目前正在努力更新該標準，使其更適用於(yu) 當今使用的高功率激光所麵臨(lin) 的挑戰。

目前，設計師和工程師們(men) 正在盡可能采用實際應用測試來替代該標準。在塗層設計和熱管理方麵，多物理場仿真通常是確保高能光學器件適用於(yu) 不同應用的第一步。

通快公司光學和傳(chuan) 感器產(chan) 品經理Martin Stambke表示，歸根結底，隻有在盡可能接近現實的條件下進行的試驗才能帶來可靠性。使用隨時間變化的苛性堿和功率測量進行全麵的係統表征更為(wei) 先進，或者通常在試驗的後期進行。

光學設計師的工具包中有多種失效損壞機製，因此選擇正確的測試條件至關(guan) 重要。為(wei) 某些應用收集可靠的數據可能需要對光學元件的整個(ge) 塗層進行光柵掃描，這需要時間和資源。此外，由於(yu) 光學元件通常設計為(wei) 能夠有效工作數千小時，因此必須考慮特定應用的實際條件。但是，隻有少數 LIDT 服務提供商能提供加速壽命測試程序，並通過建模預測壽命分析。

Altechna的Laurutis 認為(wei) ，ISO LIDT測試標準的製定和定期更新有助於(yu) 統一所需的測試類型。他說："仍需要對現有標準進行實質性修訂，以保證 LIDT 結果的一致性和可靠性。"與(yu) 此同時，我們(men) 在很大程度上依賴客戶的反饋，以及對LIDT測試提供商優(you) 劣進行比較的能力。

Laurutis說："在涉及超高能量係統的情況下，我們(men) 可能會(hui) 發現自己無法保證光學塗層的耐用性。

"這種情況可能需要我們(men) 進一步開發，迫使客戶以較低的功率水平運行係統，或者需要更頻繁地更換光學器件，從(cong) 而導致停機時間、費用和精力的增加。

未來趨勢

特別是在工業(ye) 應用中，嚴(yan) 格而頻繁的質量控製實踐對於(yu) 保持最高標準的抗激光誘導損傷(shang) 能力至關(guan) 重要。在製造階段和成品評估過程中，光學器件有助於(yu) 完成這項任務。

通快激光與(yu) 係統技術股份公司激光技術銷售支持主管Andrey Andreev說，他認為(wei) 高能激光光學的下一波發展將涉及 “更智能”的光學。這包括傳(chuan) 感器設備的優(you) 化。

Andreev說：“我們(men) 即將開發與(yu) 工藝流程傳(chuan) 感器有關(guan) 的產(chan) 品，包括人工智能方法、狀態監測和數據存儲(chu) ——所有這些對於(yu) 生產(chan) 過程中的過程鏈都非常重要。”

對於(yu) 這類傳(chuan) 感器係統，例如基於(yu) 機器視覺或OCT的傳(chuan) 感器係統，防反射塗層將變得更加複雜，尤其是在涉及分光鏡和掃描鏡時，因為(wei) 塗層特性的角度依賴性。

此外，隨著高功率激光係統在性能、效率和應用多樣性方麵的不斷提高，先進傳(chuan) 感器在監控和優(you) 化這些係統方麵的重要性也在不斷增加。這些傳(chuan) 感器有助於(yu) 提高激光器的功能，並對這些係統不可或缺的光學係統產(chan) 生深遠影響。