2025年12月2日，“智匯中山·科創講堂”—激光產(chan) 業(ye) 發展與(yu) 應用技術交流會(hui) 暨火炬高新區光電產(chan) 業(ye) 技術對接活動在廣東(dong) 中山隆重舉(ju) 行。華日激光受邀出席，與(yu) 來自華中科技大學、長春理工大學的專(zhuan) 家學者及眾(zhong) 多行業(ye) 精英，共同探討激光產(chan) 業(ye) 的未來發展。華日激光謝戈輝博士發表主題《國產(chan) 超快激光在半導體(ti) 量測的應用》演講，展示了華日激光在半導體(ti) 量測領域的最新突破與(yu) 國產(chan) 化應用前景。

半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 的競爭(zheng) 是精密製造與(yu) 良率控製的競爭(zheng) ，在芯片製程不斷微縮的今天，如何“看清”納米級的內(nei) 部結構？華日激光給出了國產(chan) 化的硬核答案！半導體(ti) 量測是芯片製造的“眼睛”。謝戈輝博士指出，隨著晶圓製造工藝的複雜度提升，傳(chuan) 統的檢測手段已難以滿足需求，超短脈衝(chong) 激光憑借極端光學特性，成為(wei) 了科研與(yu) 工業(ye) 界的革新性工具。

在演講中，謝戈輝博士重點展示了華日激光的兩(liang) 大核心技術應用：

1.飛秒超聲技術：芯片內(nei) 部的“B超”針對不透明樣品及多層薄膜結構，華日激光利用飛秒超短脈衝(chong) “泵浦-探測”（Pump-probe）技術，利用超快飛秒的時間分辨率，可以精確探測到納米級別的微小結構變化，成功應用於(yu) 薄膜厚度量測及芯片內(nei) 部連接的探測，這是一種非接觸式的無損檢測（NDT）技術。

2.雙光梳光譜技術：高精度的“光譜指紋”謝戈輝博士介紹了利用雙光梳技術進行微納成像突破，該技術無需機械掃描，即可實現高精度、高速度、高分辨的光學測量，為(wei) 半導體(ti) 微納結構的3D成像提供了強有力的技術支撐。

核心突破：Glow係列517nm綠光飛秒激光器，對標國際一梯隊。

謝戈輝博士強調：高精度的量測，離不開信噪比低的激光器。在半導體(ti) 量測中，激光的相對強度噪聲和時間抖動是決(jue) 定測量信噪比的關(guan) 鍵。Glow綠光飛秒激光器針對量測做以下優(you) 化：

● 低噪聲：新型腔型設計與(yu) 被動噪聲抑製方案、精確控製腔內(nei) 色散與(yu) 非線性效應，降低信噪比

● 高穩定：支持7*24h連續運行，內(nei) 置光學隔離，全光纖放大穩定性高，免維護

● 易集成：風冷散熱，一體(ti) 化工業(ye) 設計，易集成

極致的低噪與(yu) 穩定性，提高了測量精度、靈敏度、效率及穩定性上限，使得國產(chan) 激光器在性能上已具備與(yu) 國外同類產(chan) 品同台競技的實力，滿足飛秒激光在半導體(ti) 檢量測等高端應用中的嚴(yan) 苛要求。華日激光正以“中國製造”的硬實力，打破國外壟斷，為(wei) 從(cong) 芯片設計到晶圓製造的每一個(ge) 環節注入光能。未來，華日激光將繼續攜手產(chan) 業(ye) 鏈夥(huo) 伴，聚焦客戶挑戰，用更精密、更穩定的國產(chan) 光源，照亮中國半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 的自主可控之路。