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三星強化 HBM4 量產能力,飛秒激光切割成關鍵工藝

CNMO 科技 來源:fun88网页下载2026-03-24 我要評論(0 )   

3 月 23 日,據韓媒報道,三星電子已開始采購應用飛秒激光技術的晶圓切割設備。這些設備包括用於(yu) 在晶圓上開槽的開槽設備與(yu) 一次性完成切割的全切設備,僅(jin) 初期導入數量就...

3 月 23 日,據韓媒報道,三星電子已開始采購應用飛秒激光技術的晶圓切割設備。這些設備包括用於(yu) 在晶圓上開槽的 " 開槽 " 設備與(yu) 一次性完成切割的 " 全切 " 設備,僅(jin) 初期導入數量就至少達 10 台以上。設備計劃引入進行先進半導體(ti) 封裝的天安園區,目前正在準備采購訂單。


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據 CNMO 了解,三星電子還計劃通過追加訂單,盡可能增加設備導入數量。考慮到晶圓切割設備交貨周期長達 8 個(ge) 月以上,此舉(ju) 旨在提前確保設備產(chan) 能的同時,大幅擴大基於(yu) 飛秒激光的晶圓切割工藝應用範圍。知情人士解釋稱,三星電子正與(yu) 合作夥(huo) 伴討論在初期導入之後持續擴大飛秒激光開槽與(yu) 全切設備導入的方案,試圖將大部分晶圓切割工藝轉向下一代技術。


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半導體在晶圓上完成電路刻印的前道工序後,必須經過切割分離為獨立芯片形態的工序。傳統切割工藝大多通過金剛石砂輪進行機械切割,部分雖采用激光,但作為精密度關鍵指標的激光脈衝僅停留在納秒級別。飛秒激光可產生比納秒更快的千萬億分之一秒級別的激光脈衝,相比傳統機械方式或納秒激光,能夠實現更精密的切割,可在不影響線寬極窄的先進半導體電路或布線的情況下,最大限度減少切割過程中產生的顆粒物,從而將最終半導體的質量提升至最高水平。


三星電子於(yu) 去年第二季度首次在半導體(ti) 切割工藝中引入飛秒激光切割,當時設備僅(jin) 有數台。在驗證了性能與(yu) 生產(chan) 力改善成果後,公司決(jue) 定擴大應用。三星計劃將飛秒激光切割優(you) 先應用於(yu) HBM4 製程,以提高 HBM4 的良率與(yu) 生產(chan) 效率。


近期三星電子已開始量產(chan) 供應 HBM4。隨著進入大規模生產(chan) 轉換階段,預計對飛秒激光切割的需求也將同步擴大。此外,據稱三星還在考慮將飛秒激光切割引入 NAND 閃存與(yu) 係統半導體(ti) 等 DRAM 以外的產(chan) 品。三星電子的飛秒激光切割供應鏈將由韓國企業(ye) EO Technics 與(yu) 日本 Disco 共同承擔。


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