藍寶石市場前景廣闊,但目前生產(chan) 大尺寸藍寶石晶體(ti) 技術主要被俄羅斯和歐美企業(ye) 壟斷。據統計,目前全球70%的藍寶石襯底由俄羅斯企業(ye) 提供,另外30%由美國和歐洲掌控。國內(nei) 尚未形成產(chan) 業(ye) 化生產(chan) 的藍寶石襯底片生產(chan) 廠家。
藍寶石是製作芯片的重要原料,占LED芯片原料費的10%。2010年第三季度後,全球藍寶石產(chan) 量居前兩(liang) 名的公司紛紛漲價(jia) ,直接影響了LED芯片及封裝價(jia) 格上漲。
藍寶石是指非紅色的氧化鋁(Al2O3)。含有雜質的藍寶石很早以前就被作為(wei) 寶石,由於(yu) 其具有多種光學、機械、電氣、熱以及化學特性,因此還被廣泛應用於(yu) 工業(ye) 等多種領域,而且應用範圍仍在不斷擴大之中。其中,能夠合成製造出藍寶石更是意義(yi) 重大。藍寶石的主要用途包括LED和LED底板。
LED市場在2010年經曆了史無前例的發展。隨著市場的發展,製造藍色和白色GaN類LED時使用的藍寶石底板的需求也大幅增長。對底板成品的需求由每月按2英寸換算(TIE)為(wei) 100萬(wan) (2009年12月)增加到了200萬(wan) (2010年第四季度)。
2009年第四季度,藍寶石的加工能力滿足需求還有餘(yu) 力。也就是說,加工藍寶石的企業(ye) 還能應對當時的需求。但是,材料的供應能力在2009年年底就逐步達到了極限。生產(chan) 藍寶石材料的企業(ye) 大部分都因為(wei) 2009年的金融危機和一直持續到09年的巨大物價(jia) 壓力而陷入苦於(yu) 資金周轉的困境。另外,由於(yu) 新設備的導入和運轉通常需要半到一年的時間,2010年產(chan) 能緩慢上升,因而無法適應需求的急劇增加。由此產(chan) 生了嚴(yan) 重的材料短缺,導致價(jia) 格暴漲。
藍寶石芯材(Core)和坯料(Blank)由商品變身為(wei) “戰略性材料”,大量的藍寶石生產(chan) 商時隔數年又重新掌握了定價(jia) 的主導權。而且,他們(men) 可以將價(jia) 格設定為(wei) 能夠最大限度獲取利潤的水平。其結果是,藍寶石晶圓的美國國內(nei) 售價(jia) 超出我們(men) 的預想,上漲到了30美元,現金交易市場上的價(jia) 格更是超過了30美元。很多加工藍寶石的企業(ye) 和LED廠商為(wei) 確保產(chan) 能已經預付了貨款,目的是防止生產(chan) 線停工。
生產(chan) 藍寶石晶棒的工藝主要有泡生法(KY法、凱氏長晶法)、提拉法(CZ法、柴氏拉晶法)、溫度梯度法(TGT法)等,其中泡生法為(wei) 主流工藝,生產(chan) 的藍寶石晶體(ti) 約占70%,鑽取率約30%。
藍寶石晶體(ti) 原材料為(wei) 氧化鋁碎晶,生產(chan) 利用率大於(yu) 97%,已經完全國產(chan) 化。藍寶石單晶產(chan) 品即為(wei) 藍寶石坯料,可直接出售,不合格品可直接作為(wei) 原材料再次加工。其他消耗材料如鎢鉬材料、金剛石刀具、傳(chuan) 感器、儀(yi) 表等均國產(chan) 化。預計由藍寶石生產(chan) 藍寶石晶棒的原材料、耗材均可由國內(nei) 充分供應,此環節的短板主要在於(yu) 長晶爐依賴進口。
國內(nei) 主要的藍寶石晶體(ti) 爐廠家都是高校研究機構,包括西安理工大學、哈爾濱工業(ye) 大學以及重慶第二十六研究所等。但國內(nei) 目前的生產(chan) 技術隻能生產(chan) 2英寸以下的藍寶石晶棒,長成的晶體(ti) 與(yu) 氮化镓(GaN)的晶格錯位較大,無法用於(yu) LED的藍寶石襯底領域,大多用於(yu) 手表表麵外殼等。
藍寶石晶棒的供應商有美國的Rubicon、Honeywell,俄羅斯的 Monocrystal、ATLAS,韓國STC 及國內(nei) 合晶光電、越峰(台聚轉投資)、尚誌(大同轉投資)及鑫晶鑽(奇美、鴻海轉投資)。
藍寶石基板的供應商有美國的Rubicon、Honeywell、Crystal Systems、Saint-Gobain,俄羅斯的Monocrystal、ATLAS Sapphire,日本的京都陶瓷(Kyocera)、Namiki、Mahk,及國內(nei) 兆遠、兆晶(奇美轉投資)、晶美、合晶及中美晶等公司。其產(chan) 能如下:
|
2009 |
2010E |
2011E |
Rubicon(萬(wan) 毫米) |
500 |
600 |
900 |
Monocrystsal(萬(wan) 毫米) |
400 |
450 |
675 |
STC(萬(wan) 毫米) |
300 |
500 |
750 |
越峰(萬(wan) 毫米) |
108 |
160 |
300 |
其他(萬(wan) 毫米) |
400 |
450 |
900 |
合計(萬(wan) 毫米) |
1708 |
2160 |
3530 |
目前,GaN基襯底包括藍寶石、SiC、GaN、Zno等,商業化的隻有藍寶石、SiC襯底,除CREE外,基本都使用藍寶石襯底。
2010年全球主要LED藍寶石基板生產(chan) 廠商2英寸基板的厚度
廠家名稱 |
2英寸基板厚度 |
美國crystal systems |
(330-430μm-25μm,330-430μm+25μm) |
俄羅斯cradley crystals |
(330-430μm-25μm,330-430μm+25μm) |
台灣兆晶科技股份有限公司 |
(330-430μm-25μm,330-430μm+25μm) |
台灣中美矽晶製品股份有限公司 |
(430μm-25μm,430μm+25μm) |
對於(yu) 新增設備,安裝需要3~6個(ge) 月的時間。從(cong) 工藝角度而言,大尺寸藍寶石晶體(ti) 生產(chan) 周期需10天左右,準備和後處理需要7天左右,試件加工需要7天左右,質量檢測、微觀結構及光電性能需要30天左右,工藝分析、模擬需要7天左右。前後就耗去6~8個(ge) 月的時間。
同時,藍寶石晶棒除了應用於(yu) LED產(chan) 業(ye) ,還應用於(yu) 以下幾個(ge) 方麵:
用途 |
備注 |
航空航天大尺寸平板藍寶石光電窗口 |
透波窗口、護板、陀螺、耐磨軸承等 |
大尺品質藍寶石軍(jun) 工窗口及器件 |
美國洛克希德-馬丁公司估計年增長率超過25%,預計超過3億(yi) 美元 |
其他民用窗口 |
手機窗口、光電遙控窗口、條碼機耐磨窗口、投影儀(yi) 保護棱鏡、光電管感光棱鏡,需求約2億(yi) 美元,耐磨類零部件占晶體(ti) 用量35%左右 |
藍寶石晶棒供不應求的主要原因在於MOCVD的瘋狂擴張,而並不是LED終端產品需求的增加。由於藍寶石晶棒、基板的緊缺,MOCVD機器隻有不到50%的能夠開工,MOCVD的過剩中短期內將催高藍寶石晶棒、基板價格的價格,造成終端產品價格的上漲,降低磊晶廠的毛利率。從長期看,藍寶石晶棒、基板的緊缺必將起到大浪淘沙的作用,一部分芯片質量相對不高,成本相對較高的外延片、芯片企業將倒在普通照明市場打開之前。
藍寶石晶體(ti) 的生長方法常用的有兩(liang) 種:
1:柴氏拉晶法(Czochralski method),簡稱CZ法.先將原料加熱至熔點後熔化形成熔湯,再利用一單晶晶種接觸到熔湯表麵,在晶種與(yu) 熔湯的固液界麵上因溫度差而形成過冷。於(yu) 是熔湯開始在晶種表麵凝固並生長和晶種相同晶體(ti) 結構的單晶。晶種同時以極緩慢的速度往上拉升,並伴隨以一定的轉速旋轉,隨著晶種的向上拉升,熔湯逐漸凝固於(yu) 晶種的液固界麵上,進而形成一軸對稱的單晶晶錠.
2:凱氏長晶法(Kyropoulos method),簡稱KY法,大陸稱之為(wei) 泡生法.其原理與(yu) 柴氏拉晶法(Czochralskimethod)類似,先將原料加熱至熔點後熔化形成熔湯,再以單晶之晶種(SeedCrystal,又稱籽晶棒)接觸到熔湯表麵,在晶種與(yu) 熔湯的固液界麵上開始生長和晶種相同晶體(ti) 結構的單晶,晶種以極緩慢的速度往上拉升,但在晶種往上拉晶一段時間以形成晶頸,待熔湯與(yu) 晶種界麵的凝固速率穩定後,晶種便不再拉升,也沒有作旋轉,僅(jin) 以控製冷卻速率方式來使單晶從(cong) 上方逐漸往下凝固,最後凝固成一整個(ge) 單晶晶碇.
晶體(ti) 提拉法
晶體(ti) 提拉法(crystal pulling method) 由J .Czochral ski 於(yu) 1918 年發明,故又稱“丘克拉斯基法”,簡稱CZ 提拉法,是利用籽晶從(cong) 熔體(ti) 中提拉生長出晶體(ti) 的方法,能在短期內(nei) 生長出高質量的單晶。這是從(cong) 熔體(ti) 中生長晶體(ti) 最常用的方法之一。其優(you) 點是: (1) 在生長的過程中,可方便地觀察晶體(ti) 生長的狀況; (2) 晶體(ti) 在熔體(ti) 表麵處生長,不與(yu) 坩堝接觸,能顯著地減小晶體(ti) 的應力,防止坩堝壁的寄生成核; (3) 可以方便地運用定向籽晶和“縮頸”工藝,使“縮頸”後籽晶的位錯大大減少,降低擴肩後生長晶體(ti) 的位錯密度,從(cong) 而提高晶體(ti) 的完整性 。其主要缺點是晶體(ti) 較小,直徑最多達約51~76 mm。.
泡生法
泡生法( Kyropoulos method) 於(yu) 1926 年由Kyropoul s 發明,經過科研工作者幾十年的不斷改造和完善,目前是解決(jue) 晶體(ti) 提拉法不能生產(chan) 大晶體(ti) 的好方法之一。其晶體(ti) 生長的原理和技術特點是:將晶體(ti) 原料放入耐高溫的坩堝中加熱熔化,調整爐內(nei) 溫度場,使熔體(ti) 上部處於(yu) 稍高於(yu) 熔點的狀態;使籽晶杆上的籽晶接觸熔融液麵,待其表麵稍熔後,降低表麵溫度至熔點,提拉並轉動籽晶杆,使熔體(ti) 頂部處於(yu) 過冷狀態而結晶於(yu) 籽晶上,在不斷提拉的過程中,生長出圓柱狀晶體(ti) 。
泡生法與(yu) 提拉法生長晶體(ti) 在技術上的區別是: (1) 晶體(ti) 直徑 在擴肩時前者的晶體(ti) 直徑較大,可生長出100 mm 以上直徑的藍寶石晶體(ti) ,而後者則有些難度; (2) 晶體(ti) 方向 前者對生長大尺寸、有方向性的藍寶石晶體(ti) 擁有更大的優(you) 勢;(3) 晶體(ti) 質量 泡生法生長係統擁有適合藍寶石晶體(ti) 生長的最佳溫度梯度。在生長的過程中或結束時,晶體(ti) 不與(yu) 坩堝接觸,大大減少了其應力,可獲得高質量的大晶體(ti) ,其缺陷密度遠低於(yu) 提拉法生長的晶體(ti) ,且兩(liang) 者生長晶體(ti) 的形狀也不同。
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