相幹公司最新推出IndyStar 2kHz準分子激光器，已完全通過Semi S2認證，采用了幾種新的輸出穩定化技術以促進工藝提高，使其成為(wei) 半導體(ti) 製造、測試、檢驗以及微加工等應用的理想選擇。該激光器具備193nm (ArF)、8W穩定輸出，以及248nm (KrF)、12W穩定輸出的兩(liang) 個(ge) 型號。

    IndyStar 2kHz采用了一個(ge) 先進的電子平台以實現POWERLOK和TIMELOK這兩(liang) 種新的穩定化輸出技術。POWERLOK技術確保每個(ge) 脈衝(chong) 的能量一致性，特別適合於(yu) 需要使用特定脈衝(chong) 串的應用。TIMELOK提供了非凡的脈衝(chong) 觸發延時的穩定性，因而適用於(yu) 需要與(yu) 其他設備嚴(yan) 格同步的應用。由於(yu) 采用了經過業(ye) 界驗證的ALMETA （全金屬陶瓷) 腔技術，保證了IndyStar係列激光器的超低運營成本以及長壽命和高可靠性的特點。

    IndyStar 2 kHz在諸如光掩膜檢查以及光刻鏡片測試等應用方麵顯示了更快、更好的效果。也可以實現在包括精確材料去除和標記等高速加工方麵的應用。