上海光機所恒益公司大口徑釹玻璃加工取得重要進展，精拋光麵形透射波前畸變可穩定優(you) 於(yu) 1/3λ（λ=632.8nm），技術指標達到國內(nei) 大平麵光學環拋加工最高水平，為(wei) 國際同類產(chan) 品加工先進水平，並具備小批量生產(chan) 能力。

    大口徑釹玻璃是高功率激光裝置的核心元件，其最大工件尺寸接近一米，精密拋光的麵形要求為(wei) 透射波前畸變優(you) 於(yu) 1/3λ，相當於(yu) 0.21微米的平麵度要求。在大尺寸釹玻璃上實現如此高的平麵度，溫梯度發生1℃的變化都會(hui) 造成其麵形畸變，技術難度高。

    近年來，釹玻璃片精拋光過程中的麵形控製工藝難度和表麵疵病嚴(yan) 重超標的現象一直製約著上海光機所恒益公司的加工產(chan) 能。近幾個(ge) 月來，上海光機所恒益公司集中組織專(zhuan) 業(ye) 技術人員，對釹玻璃光學加工中的相關(guan) 工藝逐一進行分解和細化，圍繞確定性環形拋光技術和生產(chan) 過程控製，以工藝改進和效率提升為(wei) 目標，從(cong) 技術路線和管理路線兩(liang) 個(ge) 方麵進行攻關(guan) 研究。目前，生產(chan) 效能和加工工藝水平都取得重要進展，集中表現為(wei) 以下兩(liang) 個(ge) 方麵：產(chan) 能得到有效提升，7個(ge) 月內(nei) ，月產(chan) 能從(cong) 2片/月提升到現在的15片/月（見附圖）；產(chan) 品技術指標提升，尤其是表麵質量得到有效控製和改進，供貨合格率得到大幅提高。