上海光機所恒益公司大口徑釹玻璃加工取得重要進展，精拋光麵形透射波前畸變可穩定優(you) 於(yu) 1/3λ（λ=632.8nm），技術指標達到國內(nei) 大平麵光學環拋加工最高水平，為(wei) 國際同類產(chan) 品加工先進水平，並具備小批量生產(chan) 能力。
大口徑釹玻璃是高功率激光裝置的核心元件，其最大工件尺寸接近一米，精密拋光的麵形要求為(wei) 透射波前畸變優(you) 於(yu) 1/3λ，相當於(yu) 0.21微米的平麵度要求。在大尺寸釹玻璃上實現如此高的平麵度，溫梯度發生1℃的變化都會(hui) 造成其麵形畸變，技術難度高。
近年來，釹玻璃片精拋光過程中的麵形控製工藝難度和表麵疵病嚴重超標的現象一直製約著上海光機所恒益公司的加工產能。近幾個月來，上海光機所恒益公司集中組織專業技術人員，對釹玻璃光學加工中的相關工藝逐一進行分解和細化，圍繞確定性環形拋光技術和生產過程控製，以工藝改進和效率提升為目標，從技術路線和管理路線兩個方麵進行攻關研究。目前，生產效能和加工工藝水平都取得重要進展，集中表現為以下兩個方麵：產能得到有效提升，7個月內，月產能從2片/月提升到現在的15片/月（見附圖）；產品技術指標提升，尤其是表麵質量得到有效控製和改進，供貨合格率得到大幅提高。
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