IGZO是由銦(In)、镓(Ga)、鋅(Zn)和氧(O)構成的氧化物半導體(ti) In-Ga-Zn-O的簡稱。夏普於(yu) 2012年4月在業(ye) 界率先開始全麵量產(chan) 采用IGZO TFT(以IGZO為(wei) 基礎的TFT)的液晶麵板。將主要用於(yu) 平板終端,供應對象被認為(wei) 是美國蘋果公司的“ipads”。夏普計劃今後將IGZO TFT液晶麵板用於(yu) 筆記本電腦和顯示器。這是一項可讓夏普複興(xing) 液晶麵板業(ye) 務的技術。
IGZO的最大特點是載流子遷移率在10cm2/Vs以上,比現有的TFT材料非晶矽高出10倍以上。結果,IGZO能夠以低功耗驅動高精細麵板。另外,IGZO還具有透明性、可在柔性基板上低溫成膜等矽所沒有的特點。因此,IGZO在有機EL麵板和電子紙領域也備受關(guan) 注。
東(dong) 京工業(ye) 大學教授細野秀雄的團隊發現了IGZO TFT的上述潛力,並且自始至終在研發方麵處於(yu) 領先地位。該團隊在1996年證實IGZO TFT可實現超過10cm2/Vs的高水平載流子遷移率,2004年在柔性基板上製作出了IGZO TFT。
這些成果成為(wei) 日本國內(nei) 外企業(ye) 著手開發IGZO TFT的契機。佳能、韓國LG電子、韓國三星電子和凸版印刷等企業(ye) ,從(cong) 2005年前後著手IGZO TFT的開發工作。最初大多用於(yu) 不到10英寸的小型麵板,而近來達到實用化水平的成果逐漸增加,比如2010年三星開發出了70英寸的液晶麵板。夏普一直與(yu) 日本半導體(ti) 能源研究所共同推進IGZOTFT的開發,但此前並未積極地發布開發成果。
此次夏普開始量產(chan) IGZO TFT液晶麵板後,今後估計韓國和台灣廠商也會(hui) 相繼量產(chan) 。其中,三星已在2011年7月就針對細野等人的研究成果為(wei) 基礎的IGZO TFT技術專(zhuan) 利群,從(cong) 日本科學技術振興(xing) 機構(JST)獲得了授權,由此可以看出三星量產(chan) IGZO TFT液晶麵板的姿態。
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