大多數光學實驗或工業(ye) 生產(chan) 都對係統穩定性有較高的要求。各種因素造成的振動會(hui) 導致儀(yi) 器測量結果的不穩定性和不準確性,嚴(yan) 重幹擾生產(chan) 和實驗的進行。
振動來源主要分為(wei) 來自係統之外的振動和係統內(nei) 部的振動。地麵固有振動,工作人員踩踏地板以及開、關(guan) 門或牆壁碰撞等通過地麵傳(chuan) 來的振動均屬係統之外的振動,這一類振動需通過光學平台的隔振腿衰減;而來自係統內(nei) 部的振動包括儀(yi) 器振動、氣流、冷卻水流等,則需依靠光學平台的桌麵阻尼來隔絕。
振動基本原理
固有頻率
固有頻率,顧名思義(yi) ,為(wei) 係統本身發生的振動的頻率。數值上來看,固有頻率等於(yu) 共振頻率。考慮物塊與(yu) 彈性懸臂梁組成的係統,固有頻率取決(jue) 於(yu) 兩(liang) 個(ge) 因素——物塊質量,以及充當彈簧的彈性懸臂梁的彈性係數。質量減小或彈性係數減小可增大固有頻率;質量增大或懸臂梁彈性係數增大可降低固有頻率。
(左)質量減小可增大固有頻率
(右)質量增大可降低固有頻率
(左)彈簧彈性係數減小可增大固有頻率。
(右)彈簧彈性係數增大(“更柔軟”)可降低固有頻率。
實驗室或廠房內(nei) 可能存在的振動源,包括地表的振動(固有頻率 10-5-20 Hz),大型建築的振動(1 Hz左右),聲音(20 Hz以上),儀(yi) 器設備(10 Hz以上)。用戶應當根據自身情況,選擇合適的光學平台以對振動有效隔絕。
阻尼
如果沒有阻尼,係統將在靜止前振動很長一段時間——至少幾秒鍾。阻尼可消耗係統的機械能,使衰減更迅速。例如,當音叉頂端浸入水中時,振動幾乎立即減弱。同樣,當手指輕觸共振物塊——懸臂梁係統時,該阻尼裝置也會(hui) 迅速的消耗振動能量。
理想簡諧振動
一個(ge) 與(yu) 理想線性彈簧連接的固定物塊M可產(chan) 生簡諧振動,如下圖所示。

彈簧長度變化Δx與(yu) 應力F的關(guan) 係可表示為(wei) Δx = CF,其中C是彈簧順應性係數(Compliance),與(yu) 彈簧彈性係數k成反比:k=1/C。
在彈簧——物塊係統中,當彈簧末端發生頻率為(wei) ,最大振幅為(wei) |u|的正弦運動時,物塊M將產(chan) 生最大振幅為(wei) |x|,頻率同樣為(wei) ω的正弦運動。物塊運動|x|的振幅與(yu) 彈簧末端運動|u|的振幅的穩態比即振動傳(chuan) 遞率T(Transmissibility),而係統的共振頻率或固有頻率ω0可表示為(wei)

固有頻率隨物塊質量M或彈簧順應性C的增加(更柔軟)而降低。振動傳(chuan) 遞率曲線表征於(yu) 下圖

該係統三個(ge) 突出的特征為(wei) :
1)振動頻率遠低於(yu) 係統固有頻率時,傳(chuan) 遞率T=1,因此物塊的運動幅度與(yu) 彈簧另一端相同。
2)接近固有頻率時,彈簧末端的運動幅度增強,物塊|x|的運動振幅大於(yu) 彈簧末端的運動|u|振幅。對於(yu) 一個(ge) 無阻尼係統(ζ=0),物塊的運動振幅此時在理論上會(hui) 變得無限大。
3)遠高於(yu) 係統固有頻率時,物塊位移|x|與(yu) 1/ω2成比例地減少。在這種情況下,係統產(chan) 生的位移不能傳(chuan) 遞至物體(ti) ,也就是說彈簧充當了隔離器。
光學平台係統
光學平台係統包括光學台麵和隔振腿。光學平台可放置儀(yi) 器並對振動進行控製。光學平台台麵是隔振係統中重要的一部分,其主要作用是提供一個(ge) 無相對形變的剛性平台,當有振動源傳(chuan) 遞到桌麵時,桌麵蜂窩結構和阻尼可有效減弱光學平台振動變形。
隔振腿除了支撐,主要作用是隔離來自地麵的振動,隔振性能是其最重要指標之一。其他性能還包括:各腿高度獨立調節,自動水平,載重能力,高度可選,有無磁性等等。
Newport在振動控製和振動隔離的生產(chan) 設計方麵,擁有超過40年的經驗,已經成為(wei) 振動控製產(chan) 品和方案的行業(ye) 標準。我們(men) 提供廣泛的寬帶及窄帶調諧阻尼,不同的尺寸和厚度的光學平台,可滿足任何性能、預算的需求。其中SmartTable係列桌麵的專(zhuan) 利——IQ主動阻尼技術獨一無二,能最大限度隔離係統內(nei) 部的振動。
主動隔振平台
本次慕尼黑上海光電展期間,我們(men) 推出了最新的主動隔振平台GuardianTM係列。結合簡約的設計,先進的隔振技術,為(wei) 超高分辨率顯微鏡和計量學提供了低頻區域(0.5-50 Hz)無與(yu) 倫(lun) 比的隔振性能,吸引了眾(zhong) 多參觀者的關(guan) 注。
GuardianTM工作站包括2個(ge) 主動隔振模塊,每一個(ge) 包含3個(ge) 傳(chuan) 感器和3個(ge) 衰減器,在六個(ge) 自由度進行實時補償(chang) 。它不僅(jin) 解決(jue) 了被動隔振係統在固有頻率處的共振響應問題(上圖藍色曲線),還提供高達34 dB(98%)額外的隔離(上圖粉紅色曲線)。隔離效率從(cong) 1 Hz處的10.5 dB(70%),2 Hz處的20 dB(90%),到5 Hz處已達到30.5 dB(97%),不但大大優(you) 於(yu) 以彈簧為(wei) 基礎的係統,而且優(you) 於(yu) 最好的氣浮隔振平台。
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