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Zygo 斐索幹涉儀

星之球科技 來源:中科院大連物理化學研究2011-07-29 我要評論(0 )   

主要技術指標:可測元件口徑:Ф10~Ф300 標準鏡精度:PV /20 重複性:△PV0.020 功能/應用範圍:測量光學元件表麵麵形及透過波麵

 


主要技術指標:可測元件口徑:Ф10~Ф300

標準鏡精度:PV λ/20

重複性:△PV<0.020λ

功能/應用範圍:測量光學元件表麵麵形及透過波麵

 

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