
·極寬的光譜範圍,波長範圍從(cong) 193nm至1700nm
·390-720個(ge) 波長同時測量
·大範圍的測量角度,手動角45-90o,自動角40-90o,因此該橢偏儀(yi) 的 測量角度均可超過45
·融合了該公司的專(zhuan) 利技術——旋轉補償(chang) 技術,在整個(ge) 範圍內(nei) (0-360o)均能得到Δ值的精確測量
·極快的測量速度,不僅(jin) 體(ti) 現在多個(ge) 波長同時測量,而且其測量速度是同類產(chan) 品中最快的,每次測量隻需1-5秒,而其它產(chan) 品則需60秒以上
·M-2000F型橢偏儀(yi) 具備很好的聚焦功能,在固定角情況下,聚焦斑點可達30μm,在可變角度情況下,聚焦斑點可達100μm
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