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激光器

深度解讀垂直腔麵發射激光器!

來源:江蘇激光產(chan) 業(ye) 創新聯盟2020-03-16 我要評論(0 )   

傳(chuan) 統的光電轉換技術一般采用LED等發光器件。這種發光器件多采用邊緣發射,體(ti) 積大,因此比較難以和半導體(ti) 技術結合。20世紀90年代

傳(chuan) 統的光電轉換技術一般采用LED等發光器件。這種發光器件多采用邊緣發射,體(ti) 積大,因此比較難以和半導體(ti) 技術結合。20世紀90年代垂直腔表麵發射激光VCSEL技術成熟後,解決(jue) 了發光器件和半導體(ti) 技術結合的問題,因此迅速得到普及。

晶圓光學鏡片中間的兩(liang) 麵發射垂直腔麵發射體(ti) 激光器(VCSEL)

近年來,智能手機領域相關(guan) 技術更新迭代十分迅速,由於(yu) 人們(men) 的日常需求逐漸提高,手機的拍照,感應,識別等功能尤其受到關(guan) 注,故手機攝像頭用量提升的趨勢仍處於(yu) 加速態勢,特別是3D攝像頭等新創新的使用也將為(wei) 手機攝像頭領域提供增益,尤其以VCSEL激光器為(wei) 核心關(guan) 鍵元器件的3D Sensing攝像頭在手機上的應用,帶動相關(guan) 市場迎來一輪爆發。

3D Sensing攝像頭

3D Sensing攝像頭相比於(yu) 傳(chuan) 統攝像頭除了能夠獲取平麵圖像以外,還可以獲得拍攝對象的深度信息,即三維的位置及尺寸信息,其通常由多個(ge) 攝像頭+深度傳(chuan) 感器組成。3D 攝像頭實現實時三維信息采集,為(wei) 消費電子終端加上了物體(ti) 感知功能,從(cong) 而引入多個(ge) “痛點型應用場景”,包括人機交互、人臉識別、三維建模、安防和輔助駕駛等多個(ge) 領域,3D Sensing攝像頭讓交互方式從(cong) 平麵變成了立體(ti) 。而3D Sensing攝像頭產(chan) 業(ye) 鏈與(yu) 傳(chuan) 統攝像頭產(chan) 業(ye) 鏈相比主要新增加紅外光源+光學組件+紅外傳(chuan) 感器等部分,其中最關(guan) 鍵的部分就是紅外光源。

因特爾公司研發的RealSense 3D攝像頭架構

目前,可以提供800-1000nm波段的近紅外光源主要有三種:紅外LED、紅外LD-EEL(邊發射激光二極管)和VCSEL(垂直腔麵發射激光器)。早期3D傳(chuan) 感係統一般都使用LED作為(wei) 紅外光源,但是隨著VCSEL技術的成熟,性價(jia) 比已經接近紅外LED,除此之外,在技術方麵,由於(yu) LED不具有諧振腔,導致光束更加發散,在耦合性方麵很差,而VCSEL在精確度、小型化、低功耗、可靠性全方麵占優(you) 的情況下,現在常見的3D攝像頭係統一般都采用VCSEL作為(wei) 紅外光源。而與(yu) 傳(chuan) 統邊發射激光器相比,VCSEL 在光束質量、與(yu) 光纖耦合效率、腔麵反射率上都具有較大優(you) 勢,且因為(wei) VCSEL發射光線垂直於(yu) 襯底而邊發射激光器發射光線平行於(yu) 襯底,因此 VCSEL 能夠實現二維陣列而邊發射激光器不行。

VCSEL技術

深度解讀(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,簡稱VCSEL,又譯垂直共振腔麵射型雷射)是一種半導體(ti) ,其激光垂直於(yu) 頂麵射出,與(yu) 一般用切開的獨立芯片製成,激光由邊緣射出的邊射型激光有所不同。

VCSEL是很有發展前景的新型光電器件,也是光通信中革命性的光發射器件。顧名思義(yi) ,邊發射激光器是沿平行於(yu) 襯底表麵、垂直於(yu) 解理麵的方向出射,而麵發射激光器其出光方向垂直於(yu) 襯底表麵,如下圖:

邊發射激光器(a)與(yu) 麵發射激光器(b)示意圖

它優(you) 於(yu) 邊發射激光器的表現在於(yu) :易於(yu) 實現二維平麵和光電集成;圓形光束易於(yu) 實現與(yu) 光纖的有效耦合;可以實現高速調製,能夠應用於(yu) 長距離、高速率的光纖通信係統;有源區尺寸極小,可實現高封裝密度和低閾值電流;芯片生長後無須解理,封裝後即可進行在片實驗;在很寬的溫度和電流範圍內(nei) 都以單縱模工作;價(jia) 格低。

VCSEL的優(you) 異性能已引起廣泛關(guan) 注,成為(wei) 國際上研究的熱點。這十多年來,VCSEL在結構、材料、波長和應用領域都得到飛速發展,部分產(chan) 品已進入市場。

VCSEL 基本結構

VCSEL 的結構示意圖如下圖所示。它是在由高、低折射率介質材料交替生長成的分布布喇格反射器(DBR)之間連續生長單個(ge) 或多個(ge) 量子阱有源區所構成。典型的量子阱數目為(wei) 3~5 個(ge) ,它們(men) 被置於(yu) 駐波場的最大處附近,以便獲得最大的受激輻射效率而進入振蕩場。在底部還鍍有金屬層以加強下麵 DBR 的光反饋作用,激光束從(cong) 頂部透明窗口輸出。

實際上,要完成低閾值電流工作,和一般的條型半導體(ti) 激光器一樣,必須使用很強的電流收斂結構,同時進行光約束和截流子約束。由上圖可見,VCSEL的半導體(ti) 多層模反射鏡 DBR 是由 GaAs/AlAs 構成的,經蝕刻使之成為(wei) air-post(台麵)結構。在高溫水蒸汽中將 AlAs 層氧化,變為(wei) 有絕緣性的 AlxOy 層,其折射率也大大降低,因而成為(wei) 把光、載流子限製在垂直方向的結構。對 VCSEL 的設計集中在高反射率、低損耗的 DBR 和有源區在腔內(nei) 的位置。

VCSEL激光器的特點

由於(yu) VCSEL與(yu) 邊發射激光器有著不同的結構,這就決(jue) 定了兩(liang) 者之間有不同的特點和性能,下表中列出了兩(liang) 種激光器的基本參數。

從(cong) 表中我們(men) 可以看出,VCSEL有源區的體(ti) 積小、腔短,這就決(jue) 定了它容易實現單縱模、低閾值(亞(ya) 毫安級)電流工作,但是為(wei) 了得到足夠高的增益,其腔鏡的反射率必須達到99%。VCSEL具有較高的弛豫振蕩頻率,從(cong) 而在高速數據傳(chuan) 輸以及光通信中,預計將有著廣泛的應用。VCSEL出光方向與(yu) 襯底表麵垂直,可以實現很好的橫向光場限製,進行整片測試,得到圓形光束,易與(yu) 製作二維陣列,外延晶片可以在整個(ge) 工藝完成前,節約了生產(chan) 成本。

VCSEL的優(you) 點主要有:

1、出射光束為(wei) 圓形,發散角小,很容易與(yu) 光纖及其他光學元件耦合且效率高。

2、可以實現高速調製,能夠應用於(yu) 長距離、高速率的光纖通信係統。

3、有源區體(ti) 積小,容易實現單縱模、低閾值的工作。

4、電光轉換效率可大於(yu) 50%,可期待得到較長的器件壽命。

5、容易實現二維陣列,應用於(yu) 平行光學邏輯處理係統,實現高速、大容量數據處理,並可應用於(yu) 高功率器件。

6、器件在封裝前就可以對芯片進行檢測,進行產(chan) 品篩選,極大降低了產(chan) 品的成本。

7、可以應用到層疊式光集成電路上,可采用微機械等技術。

VCSEL的發展史

VCSEL的曆史,也是在諸多學者機構的努力下,其性能不斷優(you) 化的曆史,在這幾十年的曆史中,IGA及其帶領的團隊起到了不可磨滅的作用,可以堪稱IGA教授為(wei) VCSEL之父。

隨著VCSEL的諸多優(you) 點,其應用也越來越廣泛。並且為(wei) 了適合這些應用,VCSEL也朝著多個(ge) 方向在各自發展,如圖所示,為(wei) 其主要應用:

不同波長VCSEL應用領域

由於(yu) 目前VCSEL最主要應用在光傳(chuan) 輸方麵,基於(yu) 1979年Soda等人的VCSEL為(wei) 開端,VCSEL的發展,主要經曆了2個(ge) 階段:

第一階段:從(cong) VCSEL誕生到20世紀末,蠻荒發展階段。

在這個(ge) 階段,各個(ge) 組織機構都提出以及嚐試了各種不同結構類型的VCSEL,最終氧化物限製型VCSEL由於(yu) 其諸多優(you) 點而勝出。

1994年,Huffaker等人率先采用在台麵結構(Mesa)下本征氧化AlGaAs,生成掩埋高阻層Al氧化物的方式,來對電流進行進一步的限製。利用這種結構,閾值電流可以降低到225uA。而這種結構就是目前普遍采用的氧化物限製型(Oxide-confined)結構的原型;

首個(ge) 氧化物限製型VCSEL

2013年,Iga對VCSEL的關(guan) 鍵指標如閾值電流、調製帶寬與(yu) 有源區的關(guan) 係給出了簡單的關(guan) 係公式。

VCSEL的閾值電流同其他半導體(ti) 激光器一樣,與(yu) 有源區體(ti) 積有如下關(guan) 係式:

由公式可以看出,為(wei) 了降低閾值電流,就需要不斷減小有源區體(ti) 積。比較當前的VCSEL與(yu) 條狀激光器的有源區體(ti) 積,可以發現,VCSEL的V=0.06um3,條狀激光器依然在V=60um3,這就是為(wei) 什麽(me) 條狀激光器的閾值電流典型值仍舊在幾十mA的級別,而VCSEL的閾值電流已經達到了亞(ya) 毫安級別。

第二階段:逐漸發展成熟階段及優(you) 化階段。

由於(yu) 氧化物限製型的VCSEL具有低閾值電流等很多優(you) 點,這種結構的VCSEL被很快運用到了光通信中。

由於(yu) 高的工作電流可以帶來更好的調製特性,但同時也會(hui) 相應的增加功耗,進而帶來溫度的上升,會(hui) 對可靠性帶來影響。調製速率與(yu) 功耗成了VCSEL在光傳(chuan) 輸領域中重要的挑戰。2007年,Y-C.Chang等人采取增加深氧化層層數到5層以及增加p型摻雜濃度來降低串聯阻抗的方式,在0.9mA電流下實現的15GHz調製帶寬,相應的功耗隻有1.2mW,帶寬/功耗比隻有12.5GHz/mW,是當時最先進水平。VCSEL截麵結構如圖所示:

深氧化層氧化物限製型VCSEL

利用相同的VCSEL結構,同年,Y-C.Chang等人又實現了35Gbps的無誤碼傳(chuan) 輸。

2011年,Petter Westbergh等人研究了850nm氧化物限製型VCSEL光子壽命與(yu) 諧振頻率及調製速率的關(guan) 係,並指出在高諧振頻率以及低阻尼震蕩中取得一個(ge) 折衷來提高速率:當光子壽命接近3ps時,可以使VCSEL的調製帶寬達到23GHz,同時可以得到40Gb/s的無誤碼傳(chuan) 輸。

近年來,各個(ge) 興(xing) 趣小組對於(yu) 高速率、低功耗的VCSEL研究依然興(xing) 趣不減,圖10是截止到2015年,各機構的研究成果。可以看出,如果采用預加重的方式,目前VCSEL背靠背傳(chuan) 輸可以達到71Gbit/s。

短波長VCSEL光互聯領域發展近況

VCSEL廠商情況

VCSEL國外廠商主要有Broadcom、Lumentum、Finisar、II-VI、Philips Photonics、ams、Osram等,國內(nei) 主要有江蘇華芯、武漢光迅科技,其他還有山東(dong) 太平洋、深圳源國、國星光電、華工科技、三安光電、乾照光電、華燦光電以及睿熙科技等公司。可以看出,基本上都是來自於(yu) 光通信芯片的龍頭企業(ye) ;也正是VCSEL有了在光通信領域的經驗,消費級應用變得順理成章,兩(liang) 者產(chan) 品具備很強的技術延展性。

1、Broadcom

Broadcom是VCSEL芯片的主要供應商之一。2016年2月,Avago收購了博通,成立了新博通。博通在光學數據通訊市場產(chan) 品供應豐(feng) 富,包括光纖接收器、嵌入式光學模組以及自適應光纜等。博通憑借近期VCSEL出貨量的升級,該公司已經出貨100萬(wan) 件25G VCSEL器件,使其市場領導領域擴展至光學網絡市場。

2、Lumentum

Lumentum是2015年從(cong) JDSU分拆出來的公司,主要生產(chan) 和銷售光纖相關(guan) 產(chan) 品,銷售給全球光纖網絡及商用激光客戶,公司分2個(ge) 部門來運作:光通信、商用激光器。Lumentum是蘋果公司的第一家VCSEL供應商,芯片代工在台灣穩懋。

2018年3月,Lumentum宣布溢價(jia) 27%收購Oclaro,交易金額約18億(yi) 美元。通過收購,Lumentum將獲得Oclaro的磷化銦、光電積體(ti) 整合電路技術。

3、Finisar

Finisar是蘋果公司的第二家VCSEL供應商。2017年12月,蘋果對Finisar投資3.9億(yi) 美元,用於(yu) 增加VCSEL的研發和生產(chan) 。Finisar將使用這筆資金把德克薩斯州謝爾曼一家麵積70萬(wan) 平方英尺的已關(guan) 閉製造廠,改造成開發VCSEL芯片的工廠,未來將用於(yu) 蘋果產(chan) 品。所有的蘋果訂單的加工將使用100%的可再生能源,預計新工廠將於(yu) 2018年下半年投入運營。

4、II-VI

II-VI公司成立於(yu) 1987年,業(ye) 務主要分為(wei) 紅外光學、近紅外光學、軍(jun) 事和材料、先進產(chan) 品部四大部門。

II-VI公司重金投入2017年8月以8000萬(wan) 美元從(cong) Kaiam收購的6英寸VCSEL製造廠。Kaiam位於(yu) 英國牛頓艾克利夫占地30萬(wan) 平方英尺的工廠擁有10萬(wan) 平方英尺的潔淨室,專(zhuan) 為(wei) 大規模製造GaAs、SiC以及InP化合物半導體(ti) 器件而設計。

2018年3月,II-VI公司宣布8500萬(wan) 美元收購波長選擇開關(guan) (WSS)供應商CoAdna。2018年9月,交易完成。CoAdna將並入II-VI Photonics部門此項交易將強化II-VI公司ROADMs產(chan) 品垂直整合能力。

5、Philips Photonics

Philips Photonics是飛利浦全資子公司,生產(chan) 760nm-948nm VCSEL傳(chuan) 感類用的單模激光管,VCSEL技術具有20多年研發經驗,是原德國Ulm Photonics公司,2006年Philips收購Ulm Photonics。760nm-948nm VCSEL單模激光器主要應用於(yu) ,激光吸收光譜TDLAS測量氧氣和水分子、紅外傅裏葉變換光譜、原子鍾、幹涉儀(yi) 、編碼器以及運動控製等傳(chuan) 感方麵應用。

6、ams

ams通過收購快速轉型,成為(wei) 聚焦在光學傳(chuan) 感器領域的主要供應商。在總部奧地利的工廠負責前端晶圓製造,新加坡廠則負責光學傳(chuan) 感器生產(chan) 和封裝以及VCSEL製造,測試/傳(chuan) 感器校準工作則在奧地利和菲律賓的廠內(nei) 進行。2017年,ams對其位於(yu) 新加坡的6吋晶圓廠(2000 wspm)產(chan) 能(主要生產(chan) VCSEL芯片)進行擴充投資,針對最新具有人臉識別技術的高端手機所需器件進行投產(chan) ,增加員工也大部分集中於(yu) 此,以支持3D和光學傳(chuan) 感領域的迅速增長,預計在2019年實現量產(chan) 。

ams在成像和光學方麵陸續收購了Heptagon、Princeton Optronics、CMOSIS、KeyLemon、Mazet這幾家公司。其中,KeyLemon公司具備領先的3D人臉識別知識產(chan) 權庫。Princeton Optronics公司可以提供VCSEL光源發射器。

7、Osram

2018年5月,Osram收購美國Vixar公司。Osram是紅外LED和紅外激光二極管的技術領導者,通過引入Vixar在VCSEL方麵的專(zhuan) 業(ye) 技術,Osram將在該領域擁有更強的技術能力和產(chan) 品組合。

Vixar公司成立於(yu) 2005 年,為(wei) 生物醫學、工業(ye) 、辦公產(chan) 品、汽車和消費品行業(ye) 的傳(chuan) 感器等應用製造波長在650~1000 nm 之間的 VCSEL。

8、江蘇華芯

江蘇華芯成立於(yu) 2015年底,是目前國內(nei) 唯一一家能夠自主完成VCSEL和藍光半導體(ti) 激光器芯片外延及芯片工藝製造,並實現量產(chan) 的公司。2017年11月,10G VCSEL芯片量產(chan) 並批量出貨。2018年3月,940nm 100mW VCSEL產(chan) 品定型。

目前年產(chan) 能為(wei) 5000萬(wan) 顆單管光通訊VCSEL芯片、2500萬(wan) 顆VCSEL麵列陣芯片、500萬(wan) 顆藍光芯片。預計到2018年底,將形成5000萬(wan) 顆3D傳(chuan) 感VCSEL芯片的年產(chan) 能。

華芯半導體(ti) 提供真正可靠的國產(chan) VCSEL芯片

9、武漢光迅科技

武漢光迅科技是國內(nei) 光通信光模塊器件最大的公司,公司牽頭組建了“國家信息光電子創新中心”,短期來看可以幫助公司節約研發支出,長期來看有利於(yu) 公司充分發揮產(chan) 業(ye) 協同優(you) 勢,完善技術前瞻布局。光迅科技近年來積極開展波長為(wei) 850nm/940nm VCSEL 芯片的研發,應用於(yu) 光通信、3D傳(chuan) 感等領域。

光迅科技光芯片平台能力

VCSEL應用領域

在應用領域方麵,VCSEL從(cong) 誕生起就作為(wei) 新一代光存儲(chu) 和光通信應用的核心器件,應用在光並行處理、光識別、光互聯係統、光存儲(chu) 等領域。隨著工藝、材料技術改進,VCSEL器件在功耗、製造成本、集成、散熱等領域的優(you) 勢開始顯現,逐漸應用於(yu) 工業(ye) 加熱、環境監測、醫療設備等商業(ye) 級應用以及3D感知等消費級應用。

未來,隨著智能化信息世界的不斷發展,VCSEL將廣泛應用在消費電子3D成像、物聯網、數據中心/雲(yun) 計算、自動駕駛等領域。其中,VCSEL在消費電子領域發揮越來越重要的作用,VCSEL可用來進行智能手機人臉識別、無人機避障、VR/AR、掃地機器人、家用攝像頭等。

(1)消費電子3D成像:VCSEL是消費電子視覺成像、三維感應的基礎元器件,預計2020年,僅(jin) 智能手機為(wei) VCSEL市場貢獻超過20億(yi) 美元的收入。

(2)物聯網:VCSEL是物聯網的重要傳(chuan) 感器件,預計2025年,全球將有數十億(yi) 設備接入物聯網,全球物聯網市場有望超過30萬(wan) 億(yi) 美元。

(3)數據中心/雲(yun) 計算:VCSEL用於(yu) 數據中心,預計2020年,全球VCSEL數據通訊的市場規模將達到100億(yi) 美元。

(4)自動駕駛:VCSEL應用於(yu) 自動駕駛中的車身通訊、傳(chuan) 感器等,預計到2030年,激光雷達的使用數量將超過3億(yi) 枚。

VCSEL在手機AR功能與(yu) 投影領域的應用

AR即增強現實技術,它是一種將真實世界信息和虛擬世界信息“無縫”集成的新技術,是把原本在現實世界的一定時間空間範圍內(nei) 很難體(ti) 驗到的實體(ti) 信息(視覺信息,聲音,味道,觸覺等),通過電腦等科學技術,模擬仿真後再疊加,將虛擬的信息應用到真實世界,被人類感官所感知,從(cong) 而達到超越現實的感官體(ti) 驗。而AR最核心技術在於(yu) 光學,尤其是激光技術,無論是手勢識別、三維重構還是成像,光學技術都是決(jue) 定性基礎。除了3D攝像模塊,最關(guan) 鍵的就是光學成像模塊。例如微軟公司的HoloLens 配備兩(liang) 塊光導透明全息透鏡,虛擬內(nei) 容采用 LCoS(矽基液晶)投影技術,從(cong) 前方微型投影儀(yi) 投射至光導透鏡後進入人眼。

Hololens AR眼鏡的LCoS微型投影儀(yi)

LCOS(液晶覆矽技術)是小型化 AR 頭顯的關(guan) 鍵技術之一。三片式的 LCOS 成像係統,首先將投影光源發出的白色光線,通過分光係統係統分成紅綠藍三原色的光線,然後,每一個(ge) 原色光線照射到一塊反射式的LCOS芯片上,係統通過控製 LCOS 麵板上液晶分子的狀態來改變該塊芯片每個(ge) 像素點反射光線的強弱,最後經過LCOS反射的光線通過必要的光學折射匯聚成一束光線,經過投影機鏡頭照射到屏幕上,形成彩色的圖像。目前在投影光源上主要有LED和激光兩(liang) 種方案,由於(yu) 激光在光束質量、亮度、功耗和使用壽命上無可比擬的優(you) 越性,將是未來的發展方向。

以色列Lumus的AR眼鏡也采用了微型投影技術,成像關(guan) 鍵部件由微型投影儀(yi) 、光導元件(LOE)和反射波導組成。植入眼鏡的微型投影儀(yi) (例如激光投影)將圖像畫麵進行投放,通過光導元件、反射波導形成全反射。

Lumus AR眼鏡也采用了微型投影技術

綜上,微投成像和3D攝像將是未來AR產(chan) 業(ye) 兩(liang) 大核心技術,以VCSEL為(wei) 代表的半導體(ti) 激光器件將成為(wei) AR光學技術的最基礎部件,引領消費電子光學時代。而隨著投影顯示技術的發展,人們(men) 對投影係統的亮度、解析度、色彩豐(feng) 富性的要求將會(hui) 越來越高,光源作為(wei) 投影係統的重要部件,其發光特性將直接決(jue) 定投影係統質量。激光光束色度、照度高度均勻,具有亮度高、單色性好、波長固定等傳(chuan) 統光源無可比擬的優(you) 勢,未來取代LED成為(wei) 微型投影模塊、投影儀(yi) 、投影電視等設備光源將是大概率事件。

目前,激光顯示技術主要有三基色純激光、熒光粉+藍光、LED+激光混合光源三種技術,對比來看,三基色純激光優(you) 勢較為(wei) 明顯。三基色激光被業(ye) 界視為(wei) 最正統的激光光源,其具有色域廣、光效高、壽命長、功耗低、一致性好、色溫亮度可調、穩定、安全可靠免維護、應用靈活等優(you) 點。

三基色純激光顯示原理示意圖

技術進展來看,紅光激光二極管技術(包括VCSEL紅光陣列)發展已經十分成熟,藍光激光二極管價(jia) 格尚高,綠光激光二極管則還有待發展。從(cong) 已披露專(zhuan) 利來看,目前已有“紅光VCSEL陣列+藍光VCSEL陣列+綠色全固體(ti) 激光器”的解決(jue) 方案,VCSEL單元用於(yu) 發出圓化激光光束,經過微透鏡陣列準直化後作為(wei) R、B光輸出。此外,采用VCSEL麵陣可以減少VCSEL激光器之間的幹涉性,弱化激光散斑,從(cong) 而提高投影顯示質量。

VCSEL在激光雷達領域的應用

日本汽車電子廠家日本電裝近期公布了對Trilumina公司的戰略投資,該公司主要進行針對雷達設備的高功率VCSEL陣列開發,而這些雷達設備主要麵向輔助駕駛和無人駕駛應用。在CES2017上,Trilumina 公司展示了自己基於(yu) VCSEL陣列的256像素3D激光雷達解決(jue) 方案,如若進展順利,公司開發的光源模塊將高清和遠距離傳(chuan) 感器功能整合進小尺寸、穩定且具成本效益的包裝中,可取代目前應用於(yu) 自動駕駛汽車示範項目的大尺寸、高成本掃描激光雷達。

激光雷達感應周圍車距、三維重建

VCSEL的迅速發展和固有優(you) 點已使其成為(wei) 光電子應用中的關(guan) 鍵器件,有強大的生命力。近年來,性能優(you) 異的VCSEL不斷被研發,主要涉及其低閾值電流,高輸出功率,高電光轉換效率,低工作電壓,高調製帶寬和高產(chan) 額。相信隨著VCSEL的不斷發展,它將會(hui) 獲得越來越多的潛在應用。(本文來自傳(chuan) 感器技術、SIMIT戰略研究院)

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