“政府部門到企業(ye) 授牌，我們(men) 非常感動。”1月14日，廣東(dong) 華特氣體(ti) 股份有限公司副董事長石思慧從(cong) 南海區副區長喬(qiao) 吉飛手上接過獎牌和證書(shu) 後，高興(xing) 地說。

剛踏入2021年，華特氣體(ti) 就收獲一份對其堅持創新的嘉獎。2020年，公司憑借“一種氨氣的純化係統”和“一種三氟甲烷純化裝置及純化方法”兩(liang) 個(ge) 專(zhuan) 利，分別摘得了第七屆廣東(dong) 專(zhuan) 利獎金獎、第二十一屆中國專(zhuan) 利優(you) 秀獎。

如今，堅持科研創新的華特氣體(ti) ，已經在特種氣體(ti) 生產(chan) 關(guan) 鍵環節形成了自身的核心技術，多個(ge) 技術領域達到國際先進水平，是名副其實的特種氣體(ti) 領域的“頂尖玩家”。

華特氣體(ti) 通過核心技術攻關(guan) ，成為(wei) 特種氣體(ti) 領域的頂尖企業(ye) 。企業(ye) 供圖

打入半導體(ti) 頂尖供應鏈體(ti) 係

根據華特氣體(ti) 2020年第三季度報告披露，該公司第三季度營業(ye) 收入比去年同期增加了12.36%。公司總經理傅鑄紅認為(wei) ，這與(yu) 華特氣體(ti) 在特種氣體(ti) 產(chan) 品的深耕有關(guan) 。

該公司2020年半年度報告顯示，目前，華特氣體(ti) 主營業(ye) 務分為(wei) 三個(ge) 板塊，分別是普通工業(ye) 氣體(ti) 、特種氣體(ti) ，以及與(yu) 特種氣體(ti) 相關(guan) 的設備與(yu) 管路工程，麵向全球市場提供氣體(ti) 應用綜合解決(jue) 方案。

2002年，華特氣體(ti) 確定了以特種氣體(ti) 為(wei) 發展方向，時至今日，華特氣體(ti) 的特種氣體(ti) 主要用於(yu) 半導體(ti) 芯片行業(ye) ，目前已實現對國內(nei) 8寸以上集成電路製造廠商超過80%的客戶覆蓋率。企業(ye) 堅持自主研發，在氣體(ti) 純化、氣體(ti) 混配、氣瓶處理等特種氣體(ti) 生產(chan) 關(guan) 鍵環節形成了自身的核心技術，達到了國際先進水平；在分析檢測環節上達到國內(nei) 先進水平。

據了解，華特氣體(ti) 已在特種氣體(ti) 領域生產(chan) 出高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳、高純一氧化氮、高純八氟環丁烷、高純三氟甲烷、稀混光刻氣等20多個(ge) 產(chan) 品並實現了國內(nei) 同類產(chan) 品的進口替代。

在特種氣體(ti) 領域專(zhuan) 研18年後，如今，華特氣體(ti) 已經成為(wei) 國內(nei) 最大的民營特種氣體(ti) 及相關(guan) 設備供應商，同時產(chan) 品出口50多個(ge) 國家和地區，並獲得海外大型氣體(ti) 公司的認可，是國內(nei) 少數實現了產(chan) 品出口的氣體(ti) 公司。

打開華特氣體(ti) 的客戶名單，堪稱星光熠熠：不僅(jin) 涵蓋了中芯國際、華虹宏力、長江存儲(chu) 、台積電、京東(dong) 方等國內(nei) 一線知名企業(ye) ，華特還進入了英特爾、美光、德州儀(yi) 器、海力士等全球領先的半導體(ti) 企業(ye) 供應鏈體(ti) 係。

傅鑄紅說，經曆前期嚴(yan) 格的認證並通過後，一旦進入供應鏈體(ti) 係並開始批量供應後，華特氣體(ti) 與(yu) 客戶的合作關(guan) 係也就趨向穩定，“我們(men) 現在的競爭(zheng) 對手基本都是國外企業(ye) ”。

華特氣體(ti) 已經成為(wei) 國內(nei) 最大的民營特種氣體(ti) 及相關(guan) 設備供應商。企業(ye) 供圖

獲全球頂級光刻機企業(ye) 認證

在華特氣體(ti) 眾(zhong) 多特種氣體(ti) 產(chan) 品中，最亮眼的莫過於(yu) 光刻混合氣。該產(chan) 品於(yu) 2017年通過全球最大光刻機供應商阿斯麥產(chan) 品認證。

光刻是芯片製造最關(guan) 鍵的工藝之一，光刻需要由光刻機來完成，而全球最頂級的光刻機公司就是荷蘭(lan) 的阿斯麥。

“光刻機裏有一個(ge) 激光腔，激光腔體(ti) 內(nei) 要通入稀有的混合氣體(ti) ，利用稀有氣體(ti) 電離激發出一種特定波長和能量的激光。”傅鑄紅說，“光刻機再使用激光，去除芯片表麵的光刻膠塗層，在芯片表麵形成線寬為(wei) 納米級的特定的電路圖案。”

光刻混合氣是非常複雜且高精度的產(chan) 品，一般一種光刻氣中會(hui) 含有4—5種組分氣體(ti) 。傅鑄紅解釋，在光刻機製造過程中，需要用激光來加工芯片表麵，讓激光波長和能量長時間保持穩定，如果氣體(ti) 純度不夠或配比不精準，就會(hui) 導致激光能量時高時低或不持續，“這必然影響光刻效果。”

2017年，華特氣體(ti) 的光刻混合氣通過全球最頂級光刻機公司荷蘭(lan) 阿斯麥的認證，在這個(ge) 認證名單中，全球僅(jin) 有四家企業(ye) ，華特氣體(ti) 是中國唯一一家。而從(cong) 研發光刻混合氣，到獲得全球頂級光刻機企業(ye) 的認證，華特氣體(ti) 用了19年。

這個(ge) 認證對華特氣體(ti) 意義(yi) 巨大。傅鑄紅說，通過阿斯麥的認證，意味著阿斯麥強烈建議它的光刻機用戶，在使用阿斯麥光刻機時，要配套使用這四家企業(ye) 的光刻氣。華特氣體(ti) 經曆一年多時間不斷向對方展示生產(chan) 過程、品控手段、精準檢測的技術，“阿斯麥最終相信了我們(men) 的專(zhuan) 業(ye) 能力，最終測試通過並獲得了認證。”