東(dong) 麗(li) 工程在“PV Expo 2010（第三屆國際太陽能電池展，2月17～19日）”上，展示了可在移動玻璃底板的同時製圖的激光加工裝置。開發該裝置的目的是為(wei) 薄膜太陽能電池的透明電極等製圖，現已向太陽能電池廠商供貨。由於(yu) 底板不靜止時也能加工，因此提高了製圖的速度。

　　激光加工裝置主要用於(yu) 對玻璃底板上成膜的薄膜層進行溝狀加工。該裝置的加工對象為(wei) 薄膜太陽能電池的透明電極、非晶矽及金屬電極。支持1100mm×1400mm的玻璃底板，加工速度最高為(wei) 1000mm/秒，加工精度為(wei) ±20μm以下。

　　東(dong) 麗(li) 工程表示，隨著太陽能電池玻璃底板大型化的不斷推進，激光加工時，玻璃底板的靜止及再移動所需的時間會(hui) 對薄膜太陽能電池的生產(chan) 性能造成很大影響。薄膜太陽能電池用玻璃底板的厚度為(wei) 液晶麵板用途的5倍以上，重量達數十kg。因此，玻璃底板靜止及再移動所需的時間進一步增加。

　　此次為(wei) 了開發激光加工裝置，該公司主要在以下兩(liang) 方麵做出了努力。（1）在與(yu) 玻璃底板移動方向垂直的方向形成溝狀圖形，（2）以溝槽狀除去任意薄膜，不除去其下方的薄膜。

　　關(guan) 於(yu) （1），為(wei) 了在與(yu) 玻璃底板移動方向垂直的方向形成溝狀圖案，使激光掃描與(yu) 承載玻璃底板的平台移動實現同步的技術尤為(wei) 重要。可通過不與(yu) 玻璃底板的移動方向垂直，而是以一定角度進行激光掃描來實現。

　　關(guan) 於(yu) 該技術，該公司表示，采用了在液晶麵板用玻璃底板切割設備中積累的技術。該公司已向多家大型液晶麵板用玻璃底板廠商，供應可在移動玻璃底板的同時實現連續切割的裝置。

　　關(guan) 於(yu) （2），該公司沒有公開可除去任意薄膜的技術的詳情。在下層較薄的功能膜表麵上，很難高精度停止激光加工。在薄膜太陽能電池的製造工序中，需要以溝槽狀除去透明電極上的非晶矽以及非晶矽上的金屬，此時會(hui) 出現問題。以上兩(liang) 個(ge) 工序采用波長為(wei) 532nm的激光器。而以溝槽狀除去玻璃底板為(wei) 激光加工停止層的透明電極時的工序則采用波長為(wei) 1064nm的激光器。

　　東(dong) 麗(li) 工程株式會(hui) 社(Toray Engineering Corporation---TEK)是日本一家綜合性的工程及自動化生產(chan) 設備製造公司。

　　其業(ye) 務領域涉及:
　　1、生產(chan) 和銷售用於(yu) 平板顯示器(FPD)及半導體(ti) 生產(chan) 線的自動化生產(chan) 檢測設備以及氧分析儀(yi) ，水質　　分析儀(yi) 等各種生產(chan) 行業(ye) 用的檢測和監測儀(yi) 器等。
　　2、生產(chan) 和銷售商業(ye) 用高速打印機係統及相關(guan) 的係統解決(jue) 方案。
　　3、環保業(ye) 務，包括水、廢棄物處理技術和設備，廢物資源回收和再利用等。
　　4、化工和工業(ye) 廠房的設計、設備采購和施工管理的交鑰匙工程。