激光打孔:
在組件上開個(ge) 小孔是件很常見的事。但是, 如果要求在堅硬的材料上, 例如在硬質合金上打大量0.1毫米到幾微米直徑的小孔。用普通的機械加工工具恐怕是不容易辦到, 即使能夠做到, 加工成本也會(hui) 很高。 激光有很好的同調性, 用光學係統可以把它聚焦成直徑很微少的光點(小於(yu) 一微米), 這相當於(yu) 用來鑽孔的 "微型鑽頭"。其次, 激光的亮度很高, 在聚焦的焦點上的激光能量密度(平均每平方米麵積上的能量)會(hui) 很高, 普通一台激光器輸出的激光, 產(chan) 生的能量就可以高達109 焦耳/厘米2, 足以讓材料熔化並氣化, 在材料上留下一個(ge) 小孔, 就像是鑽頭鑽出來的。但是,激光鑽出的孔是圓錐形的,而不是機械鑽孔的圓柱形,這在有些地方是很不方便的。
激光蝕刻:
激光蝕刻技術比傳(chuan) 統的化學蝕刻技術工藝簡單、可大幅度降低生產(chan) 成本,可加工0.125~1微米寬的線,非常適合於(yu) 超大規模集成電路的製造。
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