SHR激光波長計可以方便的測量脈衝(chong) 和連續激光器的波長，精度達到+/- 3pm，整個(ge) 波長範圍是190-1100nm。光學分辨率(FWHM)可以達到30000(λ/Δλ(FWHM))，在紫外段，可以達到6pm，在近紅外波段可以達到40pm。SHR激光波長計由於(yu) 其快速測量的特點，也可以用於(yu) 在線測量。

SHR激光波長計並不是用於(yu) 一般的寬光譜測量，但是，它憑借中階梯光柵，可以很好的用於(yu) 分析窄波長的產(chan) 品－在UV短的峰展寬0.5nm到近紅外波段的18nm。

特點：

l 準確度高、光譜範圍寬

l 光譜分析

l 連續或脈衝(chong) 激光測量

l 緊湊設計、無移動部件

l 帶衰減器的光纖輸入

l 友好的操作軟件界麵

技術參數：

操作模式	連續或脈衝(chong)
光譜範圍	190 - 1100 nm
精度	± 3 pm
光譜分辨率	30 000
光源線寬要求	≤125 см-1
衍射光柵	小於(yu) 0.5 mW @ 632.8nm
靈敏度	7 ms
光學接口	SMA-905，光纖直徑400 um , 長1000mm ,衰減器 FA-3
計算機接口	USB
軟件	WLMeter
尺寸和重量	165 х 215 х 90 mm; 2.6 kg

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WLMeter軟件：

SHR激光波長計光學分辨率 SHR激光波長計最大

光譜精確度

可測光譜範圍

Nd:YAG 激光, 自由運轉模式, λ = 1064.159 nm, FWHM<0.04nm

Nd:YAG 激光, Ｑ開關(guan) 模式, λ = 1064.161 nm, FWHM=0.077nm

OPO 測量， λs=979.169nm, FWHM=0.605nm，可以看到每條譜線的細微抖動

193.3nm ArF 測量，可接光纖，也可接光學端口

Diode laser λcenter=655.25nm, FWHM<0.022nm. 單個(ge) 模式間隔170pm