Surphase 3D表麵測量儀(yi) 是整合了光源、物鏡以及掃描台的整體(ti) 式3D表麵測量儀(yi) . 其主要參數與(yu) MicroPhase類似, 是非常靈活和實惠的選擇。

特點：
♦ 經濟智能的成像解決(jue) 方案
♦ 高分辨率數字顯微相機
♦ 處理速度快&高精度3D表麵平整度分析
♦ 多成像處理
♦ 采取最先進的圖像處理和波陣麵傳(chuan) 感.
♦ 采用微相技術作為(wei) 最終的成像技術，降低高質量成像顯微鏡價(jia) 格

台層高度測量	粗糙度&波紋測量
3D表麵形貌測量	表麵輪廓測量

軟件功能：
       三維分析&測量——3D表麵形貌圖、表麵輪廓圖、台層高度測量、2D測量、粗糙度、波紋圖；數據采集&處理——自動標定、自動采集、自動處理、自動聚焦&曝光、範圍任選功能、導航功能；數據輸出&報告——項目報告歸檔與(yu) 編輯、3D數據Excel格式輸出、3D數據第三方軟件輸出、HTML格式。
 

測量能力：
3D表麵形貌 表麵輪廓 粗糙度&波紋 台層高度
 

應用範圍：
膜層 太陽能矽片 紙張 高分子材料 砂輪 橡膠 金屬 探針劃痕 焊點

主要參數：

物鏡		5X		10X		20X		50X			100X
工作距離，mm		23.5		17.5		4.5		1			1
數值孔徑		0.15		0.3		0.45		0.8			0.9
測量範圍(X,Y)，mm2		1.3 x 1.0		0.66 x 0.53		0.33 x 0.27		0.13 x 0.10			0.065 x 0.05
水平分辨率(X,Y)，μm		2.8		1.4		0.9		0.5			0.4
GetPhase(GP)/ GetPhase Extended(GPE)	GP		GPE		GP	GPE	GP		GPE	GP	GPE	GP	GPE
最大角度，degrees	8		89		16	89	24		88	38	84	42	78
垂直範圍(Z)，μm	35		1000		9	250	4		62.5	1.1	10	0.8	2.5
垂直分辨率(Z)，μm	0.35		6.9		0.09	1.7	0.04		0.7	0.011	0.2	0.008	0.17
測量采集點	1.3M (1280 x 1024 pixels)
測量時間，sec	＜10
粗糙度範圍Ra，μm	＞0.01 to 3
機械件接口	標準C視頻接口
L x W x H，mm	120 x 74 x 173
重量，kg	2.5