大功率激光輸出功率低頻波動測量采用的是空心探針探測法,這一方法過去是作為(wei) 大功率激光光束光斑質量檢測而提出的。由一個(ge) 定速電機帶動空心探針轉動,探針一端有一個(ge) 微孔,探針轉動時微孔對光束(光斑)的某一橫截麵進行掃描,這樣就可以獲得激光功率(橫截麵分布)隨時間變化的信息。
探針是該儀(yi) 器的關(guan) 鍵部件,包括微孔、內(nei) 光腔、反射鏡等部分,微孔的大小由被測激光光束(光斑)的功率密度確定,直徑約為(wei) 20^50如m。在選擇探針材料時要考慮到抗高功率的激光損傷(shang) ,另外,為(wei) 了實時在線測量,探針的直徑應盡量小,使測量時的光能量損耗小於(yu) 1%。入射光束通過微孔,通過探針的兩(liang) 個(ge) 傾(qing) 斜的反射鏡反射到熱釋電探測器上,獲得激光的強度。
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