熟悉我國微電子科技領域情況的人們(men) 可能都知道，在該領域有三足鼎立一說，說的是黃昆、謝希德、王守武三位在解放初期從(cong) 國外歸來的博士、中科院學部委員。

　　黃昆、謝希德兩(liang) 位分別在晶格動力學散射理論和表麵態物理方麵卓有創建，而王守武則主攻半導體(ti) 器件物理，偏重於(yu) 應用。如今，這三位傑出科學家中的前兩(liang) 位已經作古，唯一健在的隻有王守武先生。相對於(yu) 黃、謝兩(liang) 位，王守武的知名度稍遜些，這可能與(yu) 他一直在科研和產(chan) 業(ye) 化一線從(cong) 事實際工作有關(guan) 。

　　今年是王老推動我國首個(ge) 砷化镓激光器研製成功的第50個(ge) 年頭，也是他作為(wei) 首批海歸博士回國工作的第63個(ge) 年頭。上世紀80年代中期，王老在上海推動集成電路產(chan) 業(ye) 化工作期間，筆者有幸參與(yu) 接待，因而有機會(hui) 結識這位享譽業(ye) 內(nei) 的科學家。以後，我還有幾次機會(hui) 見到他，最近一次是去年在美國他女兒(er) 家。當時，他思維清晰、記憶力強、聲音宏亮，就是耳朵有些重聽。盡管已是94歲高齡，但王老一直牽掛著祖國超大規模集成電路工業(ye) 生產(chan) 情況。

　　從(cong) 那時起，筆者就很想把自己所了解的有關(guan) 王守武院士的事跡寫(xie) 出來，讓更多人知道，在中國半導體(ti) 科技和集成電路產(chan) 業(ye) 領域，有這樣一位開拓者。

　　出身望族的“海歸”

　　王守武1919年出生於(yu) 蘇州的名門望族。父親(qin) 王季同(1876--1948)是留英學者，1927年隨蔡元培先生籌備中央研究院，在數學和機電方麵有很深的造詣。王守武4歲隨父來上海，少年時期基本在蘇州、上海兩(liang) 地生活讀書(shu) 。

　　高中畢業(ye) 前夕，因瘧疾重犯，耽誤了學校的年末考試和蘇州全區的畢業(ye) 會(hui) 考，隻拿到肄業(ye) 證書(shu) 的他無法入讀清華、燕京等名校，隻得聽從(cong) 曾留學德國的大哥的建議，進上海同濟大學德文補習(xi) 班學習(xi) 。一年後，他重回蘇州中學參加會(hui) 考，拿到了高中文憑，才正式成為(wei) 同濟大學機電係的學生。

　　1941年畢業(ye) 後，王守武曾到工廠短暫工作幾年，之後轉到同濟大學任教。1945年抗戰勝利，憧憬“科學救國”的王守武於(yu) 當年10月入美國印第安納州普渡大學研究生院攻讀工程力學，翌年6月，獲碩士學位。因各門功課成績優(you) 異，校方資助他攻讀博士學位。此時，正在興(xing) 起的量子力學引起王守武的興(xing) 趣，他便從(cong) 工程力學轉向微觀粒子運動規律的研究，並於(yu) 兩(liang) 年後獲得博士學位後留校從(cong) 教。

　　1949年新中國成立，特別是1950年朝鮮戰爭(zheng) 爆發後，身在美國的王守武歸國心切。他以看望年邁多病的寡母為(wei) 由，抓住時機，攜同在美國留學的夫人葛修懷女士(上海籍)，懷抱不滿周歲的女兒(er) ，於(yu) 1950年回到祖國。由此，王守武開始了為(wei) 國效力的生涯。

　　從(cong) 零開始的突擊

　　1956年在周恩來總理親(qin) 自領導下，我國製訂了十二年科技發展遠景規劃，半導體(ti) 技術被列為(wei) 當時四大科研重點之一。中央有關(guan) 部門決(jue) 定，由黃昆、謝希德和王守武等知名學者在人才培養(yang) 和開拓性研究方麵進行突擊。

　　王守武在美國學的主要還是偏物理本身的內(nei) 容，但他深知半導體(ti) 工作的重要性，毅然中斷其他科研項目，全身心投入半導體(ti) 研究，在中科院應用物理所組建了國內(nei) 第一個(ge) 半導體(ti) 研究室，首先抓的是晶體(ti) 管中最基本的材料——鍺的製取。

　　他一麵抓鍺材料的提純，一麵親(qin) 自領導設計製造了我國第一台拉製半導體(ti) 鍺材料的單晶爐，並於(yu) 1957年底拉製成功了我國第一根鍺單晶。同年11月底到次年初，王守武與(yu) 同事合作，研製成功了我國第一批鍺合金結晶體(ti) 管，並掌握了鍺單晶中的摻雜技術，能控製鍺單晶的導電類型、電阻率及少數載流子壽命等電學指標，達到了器件生產(chan) 的要求。

　　1957年，林蘭(lan) 英博士回國，王守武親(qin) 自去她住的賓館，成功將她動員到半導體(ti) 工作組，就任材料研究組組長，具體(ti) 實施矽單晶的拉製。在王守武、林蘭(lan) 英和課題組的共同努力下，我國第一根矽單晶於(yu) 1958年7月問世。

　　為(wei) 了促進我國第二代(晶體(ti) 管型)電子計算機的研究，在王守武等的組織領導下，1958年，我國最早的一家生產(chan) 晶體(ti) 管的工廠中國科學院109廠創立，從(cong) 事鍺高頻晶體(ti) 管的批量生產(chan) 。在人員和設備都較欠缺的情況下，全廠人員奮戰到1959年底，為(wei) 研製109乙型計算機提供了12個(ge) 品種、14.5萬(wan) 多隻鍺晶體(ti) 管，完成了該機所需的器件生產(chan) 。在我國科技發展史上，在兩(liang) 年內(nei) ，一項產(chan) 品、尤其是尖端科研領域的產(chan) 品能實現從(cong) 零開始、完成從(cong) 研製到生產(chan) 的整個(ge) 過程，實屬罕見。

　　上世紀50年代末和60年代初，受國家科委和中科院的委托，王守武開始籌建中科院半導體(ti) 所。1960年9月，該所成立，王守武被任命為(wei) 首任副所長，全麵負責科研業(ye) 務管理和分支學科開拓的籌備。以後，在檢測設備、統一標準，特別在我國首個(ge) 砷化镓激光器研究方麵，他做了大量工作，還建立了半導體(ti) 測試中心。

　　再次受命擔重任

　　文革中，王守武遭受不公正待遇，備受誣蔑和誹謗，但他仍利用機會(hui) 閱讀文獻，緊盯國際上迅猛發展的集成電路技術。

　　文革後期，周總理要中科院重視基礎理論研究，王守武立即抓住這一時機，對耿氏器件中的雪崩馳豫振蕩作了深入探討，相關(guan) 論文在1975年美國物理學會(hui) 年會(hui) 上宣讀，受到國外同行好評。

　　1978年10月，中科院主要領導請王先生出馬，要他全麵負責4千位MOS隨機存儲(chu) 器的研究工作。這是一種大規模集成電路，要在不到4×4毫米見方的單元矽片上，經過40多道工序，製作出由1.1萬(wan) 多個(ge) 晶體(ti) 管、電阻、電容等元件構成的電子電路。如果單項工藝的完好率達到95%，芯片的最終工藝完好率也隻有13%。要製作出樣品，並有一定的成品率，談何容易。

　　王守武從(cong) 穩定工藝入手，跟著片子的流程，對工藝線的每道工序進行認真細致的檢查，要求各工序的負責人，詳盡地定出各自的操作規程。定好後就嚴(yan) 格執行，未經工藝負責人應允，不許隨意更改。

　　1980年，剛剛過完春節，上級要王守武去中國科學院109工廠兼任廠長職務，開展4K大規模集成電路的推廣工作，從(cong) 事提高成品率、降低成本的集成電路生產(chan) 試驗。

　　當時，國際上微處理器迅速發展，電腦即將推向社會(hui) ，進入家庭已成趨勢，大規模集成電路生產(chan) 及配套設備、基礎材料研製工作，由此成為(wei) 當務之急。1983年，年逾花甲的王守武再一次受命，出任國務院電子振興(xing) 領導小組集成電路顧問組組長、國家科委半導體(ti) 專(zhuan) 業(ye) 組組長，挑起了全國大規模集成電路會(hui) 戰領軍(jun) 者的重擔。

　　院士當廠長

　　回顧王守武的經曆和貢獻，有一個(ge) 單位和職務不得不提，那就是我國第一家半導體(ti) 器件廠——中科院109廠(中科院微電子所的前身)。

　　所有介紹王守武的文字中都會(hui) 有這樣的表述：1958年，他親(qin) 自創建中國科學院109廠，實現了鍺高頻晶體(ti) 管的批量生產(chan) 。1980年至1986年兼任中國科學院109廠廠長。

　　院士為(wei) 何答應任廠長？對此，原中科院109廠黨(dang) 委書(shu) 記張鍾達和原109廠總工辦主任馬文傑曾撰文介紹：

　　1980年代初中期，王守武回到他20多年前創辦的109廠上任的直接原因，是保證科研成果順利轉化為(wei) 生產(chan) 計劃，保證已獲國家批準的109廠現代化引進線的建設更先進、更科學、更能起示範樣板的作用；而更深層次的考慮，是他對國際集成電路產(chan) 業(ye) 的發展趨勢、以及我國集成電路產(chan) 業(ye) 當時的現狀進行分析後認為(wei) ，我國集成電路產(chan) 業(ye) 隻有把手工作坊式的生產(chan) 方式轉變成現代工業(ye) 化的生產(chan) 方式才有出路。要進行工業(ye) 化的集成電路生產(chan) ，生產(chan) 線就必須是條件穩定、設備穩定、操作穩定、工藝穩定、實施科學管理的受控生產(chan) 線。也就是說，王先生是懷著對國家集成電路事業(ye) 的高度責任感來進行一項全新的探索。#p#分頁標題#e#

　　張鍾達和馬文傑舉(ju) 了一個(ge) 例子，工業(ye) 化生產(chan) 要求高純度，必須實行管道化運輸，為(wei) 保證氣體(ti) 質量，王先生要求數十米長的氣體(ti) 輸送管道要能抽真空，而且真空度要保持24小時不發生變化。可管路上使用的氣體(ti) 表幾乎個(ge) 個(ge) 都有微漏氣，達不到這個(ge) 要求。怎麽(me) 辦？他就讓大家將零件一個(ge) 個(ge) 拆開，分析每個(ge) 零件的作用，查找漏氣的原因，對症下藥進行改造。最終，問題解決(jue) 了。

　　執著的“八級鉗工”

　　王守武知識淵博，工作嚴(yan) 謹細致，什麽(me) 事都要搞清所以然，認真到幾乎執著的程度。

　　對基礎輔助材料、超純水(純度達99.99999%以上)、MOS級化學試劑，他都一絲(si) 不苟地進行分析、測試；對設計版圖，他反複對比、修改、優(you) 選。為(wei) 提高集成電路成品率，他要求每一道工序成品率要在95%以上，關(guan) 鍵工序完好率要達99%以上。

　　他身教重於(yu) 言教，樣樣事情都是從(cong) 自己做起。所用設備、儀(yi) 器、儀(yi) 表，一台台、一件件認真檢修檢測，並加以必要改造和革新。光刻機有滲油、蒸發台鋁的厚度和致密度性能不穩、橢圓偏振測厚儀(yi) 經常有小毛病……都是他蹲在現場，甚至趴在地上查原因，換配件，一一解決(jue) 。

　　有一台長期被棄之一旁的國產(chan) 切片機，老線上還需要用，維修的技術人員修了好幾次就是修不好。王守武親(qin) 自動手，分析機器的機械動作原理、各部分控製電路的功能作用、可能出現的問題等，和大家一起討論，鼓勵大家一定要把它修好。六十多歲的他，有幾次都是和大家一起，在地上一蹲就是幾個(ge) 小時，終於(yu) 找出了問題所在，修好了電路，重新加工更換了絲(si) 杆，使這台老設備重又煥發青春。

　　這樣的事例不勝枚舉(ju) 。以至於(yu) 王守武在行業(ye) 內(nei) 享有“八級鉗工科學家”的雅號。

　　用了一年時間，他把256位MOS隨機存儲(chu) 器最高批量成品率提高到了當時國內(nei) 前所未有的水平，最高一批達40%。當時在亞(ya) 洲地區，這僅(jin) 次於(yu) 日本。

　　難忘“上海緣”

　　當時，上海是全國集成電路工業(ye) 的主要基地，承擔全國80%集成電路的生產(chan) 。因為(wei) 組織領導大規模集成電路研發和產(chan) 業(ye) 化方麵的工作，王守武那段時間常來上海。筆者當時正在上海市大規模集成電路會(hui) 戰組工作，所以接觸他機會(hui) 較多，印象最深的是他日夜奮戰，從(cong) 不計較工作時間，總是毫無保留地盡自己所知、所能幫助年輕人。哪裏最困難，問題最多，哪裏就有他的身影。

　　21世紀初，已80多歲的王老先生兩(liang) 次來滬，關(guan) 心了解上海超大規模集成電路生產(chan) 成品率、成本、質量、配套能力，還深入到浦東(dong) 張江“中芯國際”工廠的第一線問這問那，到“貝嶺”、“先進”、“新科”等集成電路企業(ye) 了解情況。

　　當年在上海和他一起參與(yu) 過大規模集成電路產(chan) 業(ye) 會(hui) 戰的科技人員，至今仍非常懷念在王先生領導下，為(wei) 國家大規模集成電路產(chan) 業(ye) 發展日夜拚搏的那段難忘歲月。