EUV透過高能量、波長短的光源,解決(jue) 既有顯影技術瓶頸,是先進製程發展的關(guan) 鍵設備,一台要價(jia) 1億(yi) 歐元,晶圓代工廠導入EUV量產(chan) 的時程,被業(ye) 界視為(wei) 技術領先的關(guan) 鍵。
台積電明年領先群雄,率先導入EUV量產(chan) ,意味再次棒打英特爾、三星等勁敵,晶圓代工龍頭地位屹立不搖。
台積電董事長魏哲家證實,台積電導入EUV的7納米強化版(7+)將於(yu) 明年第2季量產(chan) ,是全球首家采用EUV為(wei) 客戶量產(chan) 芯片的晶圓代工廠。
稍早三星曾宣布取得蘋果部分處理器訂單,並宣稱是全球第一家在7納米導入EUV量產(chan) 的半導體(ti) 廠。魏哲家此言等於(yu) 打臉三星,宣示台積電技術含金量遠高於(yu) 同業(ye) ,凸顯台積電在先進製程已贏得全球芯片大廠信任。
魏哲家不願透露首批導入EUV設備量產(chan) 客戶,強調有多個(ge) 產(chan) 品導入7+FFT先進製程將會(hui) 量產(chan) 。據悉,台積電將把EUV應用於(yu) 2020年量產(chan) 的5納米製程,並開始應用於(yu) 3納米製程技術開發,業(ye) 界預期,台積電挾EUV領先量產(chan) 優(you) 勢,將橫掃5G、AI等訂單。
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