大家都知道,此前有消息傳(chuan) 出,作為(wei) 我國目前最大最先進的晶圓代工廠,中芯國際終於(yu) 收到了來自ASML的光刻機,而且順利的進入了深圳廠區,有了ASML的光刻機之後,中芯國際不僅(jin) 可以實現14納米芯片的擴大生產(chan) ,還將開始7納米的生產(chan) 。
在人們(men) 還沒來得及開心,現在又出現了大反轉,那就是中芯國際獲得光刻機並不是生產(chan) 7納米工藝芯片所需的EUV芯片,實際上這台機器應該還是193nm波長的DUV係列光刻機,根據中芯國際發布的消息來看,這台機器是為(wei) 了用於(yu) 現有的生產(chan) 線來進行擴容。
因為(wei) 目前中芯國際深圳產(chan) 區所提供的產(chan) 品還是0.35μm到90nm,有了EUV光刻機的支持後,就可以開始更先進工藝的生產(chan) 了,而且中芯國際采購EUV光刻機的主要目的也是對先進工藝進行試驗和測試的。
對於(yu) 中芯國際成功獲得ASML光刻機的消息,外界確實傳(chuan) 瘋了,但是為(wei) 了得到更準確的消息,中芯國際也對媒體(ti) 做出了證實,這台光刻機隻是常規設備,不屬於(yu) EUV光刻機,而且EUV對於(yu) 中芯國際,對於(yu) 芯片行業(ye) 影響力都是比較大的,如果真正的獲得了,中芯國際是會(hui) 主動通過官方發布消息的。
同時,中芯國際也表示,沒有EUV的支持,也不會(hui) 影響芯片的生產(chan) ,由於(yu) 美國的阻擾,本應該在2019年交付的機器到現在還沒有交付,與(yu) 其坐等ASML出手,還沒有自己謀求新的道路,現在中芯國際已經采購了美國泛林公司6億(yi) 美元設備,還有美國應用材料、日本東(dong) 京電子公司高達77億(yi) 元的設備,這將進一步的提升14納米工藝芯片的產(chan) 能。
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