電子特種氣體(ti) 是真正意義(yi) 上的高精尖產(chan) 品，在芯片製造中必不可少，想要做到進口替代，必須具備國際一流品質。過去，這一市場幾乎被國際廠商壟斷。但就是憑著十幾年的堅持，華特氣體(ti) 已經實現了對國內(nei) 8寸以上集成電路製造廠商超過80%的客戶覆蓋率。尤其值得一提的是，華特氣體(ti) 通過了全球最大光刻機生產(chan) 商荷蘭(lan) 阿斯麥（ASML）公司的認證，成為(wei) 中國國內(nei) 唯一通過認證的氣體(ti) 公司。

2002年，華特氣體(ti) 確定了以特種氣體(ti) 為(wei) 發展方向，時至今日，華特氣體(ti) 的特種氣體(ti) 主要用於(yu) 半導體(ti) 芯片行業(ye) ，目前已實現對國內(nei) 8寸以上集成電路製造廠商超過80%的客戶覆蓋率。與(yu) 國內(nei) 大部分替代性產(chan) 品主打性價(jia) 比不同，華特氣體(ti) 的產(chan) 品在品質上與(yu) 國際競品完全一致，達到國際一流水準。例如，華特氣體(ti) 的產(chan) 品已能為(wei) 台積電批量供應5納米工藝，而國內(nei) （其他企業(ye) ）最先進的產(chan) 品僅(jin) 能供應14納米工藝。傅鑄紅說，經曆前期嚴(yan) 格的認證並通過後，一旦進入供應鏈體(ti) 係並開始批量供應後，華特氣體(ti) 與(yu) 客戶的合作關(guan) 係也就趨向穩定，“我們(men) 現在的競爭(zheng) 對手基本都是國外企業(ye) 。”

奮鬥19年獲阿斯麥認證

光刻是芯片製造最關(guan) 鍵的工藝之一，光刻需要由光刻機來完成，而全球最頂級的光刻機公司就是荷蘭(lan) 的阿斯麥。“光刻機裏有一個(ge) 激光腔，激光腔體(ti) 內(nei) 要通入稀有的混合氣體(ti) ，利用稀有氣體(ti) 電離激發出一種特定波長和能量的激光。”傅鑄紅說，“光刻機再使用激光，去除芯片表麵的光刻膠塗層，在芯片表麵形成線寬為(wei) 納米級的特定的電路圖案。”因此，這個(ge) 工序是決(jue) 定芯片工藝精度的最重要的工序。光刻混合氣是非常複雜且高精度的產(chan) 品，一般一種光刻氣中會(hui) 含有4-5種組分氣體(ti) 。“用激光來加工芯片表麵，需要讓激光波長和能量長時間保持穩定，如果氣體(ti) 純度不夠或配比不精準，就會(hui) 導致激光能量時高時低或不持續。”他解釋，“這必然影響光刻效果。”2017年，華特氣體(ti) 的光刻混合氣通過阿斯麥認證，在這個(ge) 認證名單中，全球僅(jin) 有四家企業(ye) ，華特氣體(ti) 是中國唯一一家。這個(ge) 認證對華特氣體(ti) 意義(yi) 巨大。“進入阿斯麥的認證，意味著阿斯麥強烈建議它的光刻機用戶，在使用阿斯麥光刻機時，要配套使用這四家企業(ye) 的光刻氣。否則，若用戶發現光刻效果不好，阿斯麥不承擔責任。”傅鑄紅介紹。

從(cong) 研發光刻混合氣，到獲得全球頂級光刻機企業(ye) 的認證，華特氣體(ti) 用了19年時間。“我們(men) 從(cong) 1998年就開始研發這款氣體(ti) ，過程非常艱難。”傅鑄紅回憶光刻混合氣的研發曆程說。特別是有些組分氣體(ti) 含量非常少，隻有幾克甚至零點幾克，要將它們(men) 精準的混合在一起，還要保證氣體(ti) 在運輸和儲(chu) 存過程中沒有任何變化，這對氣體(ti) 企業(ye) 的技術要求非常高。當年，在幾乎沒有任何專(zhuan) 利文獻可以參考的情況下，華特氣體(ti) 的研發團隊就是憑著毅力，不停試錯和摸索，在積累了幾千組實驗數據後，最終研製成功。但很快華特氣體(ti) 又迎來第二個(ge) 挑戰：如何讓阿斯麥相信華特氣體(ti) ？作為(wei) 一家民營氣體(ti) 企業(ye) ，華特氣體(ti) 在國際競爭(zheng) 對手麵前，體(ti) 量並不大。2019年，華特氣體(ti) 營業(ye) 收入為(wei) 8.44億(yi) 元人民幣。而法液空、林德等國際巨頭氣體(ti) 企業(ye) ，營收都在千億(yi) 人民幣以上。傅鑄紅回憶，正因如此，阿斯麥在最初的接洽中甚至不願意測試華特氣體(ti) 生產(chan) 的光刻混合氣，“但我們(men) 不斷地和他們(men) 溝通，通過展示生產(chan) 過程、品控手段、精準檢測的技術等，前後用了近一年的時間，讓阿斯麥相信了我們(men) 的專(zhuan) 業(ye) 能力，最終測試並通過了認證。”

抓住危機下的機遇、未來將開展海外並購

近幾年，華特氣體(ti) 保持著每年研發推出2-3種新氣體(ti) 的節奏。現在在研氣體(ti) 項目13種，其中8寸片氣體(ti) 10種、12寸片氣體(ti) 3種，主要涉及光刻、蝕刻、清洗、沉積等環節，基本都用於(yu) 進口替代。其中，某氫化物合成研發項目是為(wei) 了填補全球技術空白。憑借過硬的產(chan) 品，華特氣體(ti) 的特種氣體(ti) 已進入了英特爾、美光科技、德州儀(yi) 器、海力士等全球領先的半導體(ti) 企業(ye) 供應鏈體(ti) 係，成為(wei) 一把不容忽視的中國力量。但是，對標法液空、林德等國際巨頭，華特氣體(ti) 要成為(wei) 推動中國半導體(ti) 行業(ye) 高端化發展的“尖刀部隊”，還有較長的路要走。這主要體(ti) 現在產(chan) 業(ye) 鏈縱深程度和產(chan) 品線的廣度上。傅鑄紅表示，一方麵，特種氣體(ti) 對上遊原材料品質要求較高，縱向一體(ti) 化發展有利於(yu) 華特氣體(ti) 加強對上遊的把控。另一方麵，是特種氣體(ti) 品種繁多，通過橫向並購成熟的、優(you) 秀的細分產(chan) 品領域企業(ye) ，能夠快速補充華特氣體(ti) 的產(chan) 品線，將公司做大做強。

2019年，華特氣體(ti) 成功登陸科創板，這給華特氣體(ti) 開展橫縱向拓展帶來了資本利好。特別是本次疫情引發了經濟周期的下行，也給華特的擴張帶來了不小的機會(hui) ，傅鑄紅表示：“我們(men) 會(hui) 認真研究那些能給華特帶來較強協同效應、對主業(ye) 有所幫助的標的，適時開展並購或投資。”“未來，我們(men) 計劃還要開展海外的兼並和收購，”他展望，“目前，我們(men) 的氣體(ti) 已出口海外50多個(ge) 國家和地區，銷售占比20%左右，但這些都是通過當地的氣體(ti) 公司進行分銷。我們(men) 希望通過海外兼並和收購，以直接設點的方式去服務我們(men) 的海外終端用戶。”

用全球視野搶占行業(ye) 製高點

自2002年確立以特種氣體(ti) 為(wei) 發展方向以來，華特氣體(ti) 的成長路徑一直踐行著“全球化的視角下，搶占行業(ye) 製高點”。特種氣體(ti) ，尤其是應用於(yu) 半導體(ti) 行業(ye) 的電子特種氣體(ti) 的國產(chan) 化，沒有國際一流的品質，就進入不了半導體(ti) 行業(ye) 的供應鏈。作為(wei) “後起之秀”，華特氣體(ti) 之所以能夠在這一巨頭壟斷的高端細分市場中撕開一道口子，就是因為(wei) 十多年來，華特一直瞄準國際一流產(chan) 品，堅持研發高端特種氣體(ti) ，繼而實現進口替代。未來華特氣體(ti) 還會(hui) 繼續以特種氣體(ti) 為(wei) 發展方向，瞄準大尺寸、小線寬這些半導體(ti) 先進製程，不斷的研製並推出一批技術難度高、市場容量大的產(chan) 品，這也是華特作為(wei) 半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 鏈企業(ye) 應承擔起的責任。