芯片是智能製造的“大腦”。如何保證其正常運轉？產(chan) 前“體(ti) 檢”必不可少。半導體(ti) 檢測設備作為(wei) 芯片生產(chan) 過程中的重要工具，就猶如芯片的“體(ti) 檢醫生”，在芯片生產(chan) 階段，會(hui) 對產(chan) 品的技術參數逐一檢查，隻有成功通過測試的產(chan) 品型號方可量產(chan) 。

矽電半導體(ti) 設備（深圳）股份有限公司作為(wei) 我國最早研發、規模最大的探針台生產(chan) 企業(ye) ，多年來始終堅持自主創新，致力於(yu) 推動高精密半導體(ti) 設備國產(chan) 化，如今已研發出一係列達到國際前沿技術標準的全自動測試探針台，多項核心技術填補了國內(nei) 相關(guan) 領域技術空白，並已發展成為(wei) 能與(yu) 國際同業(ye) 競爭(zheng) 的企業(ye) 。

矽電公司總經理王勝利介紹，矽電公司自2003年成立以來就以晶圓片探針台為(wei) 著力點，在晶圓片半自動探針測試台項目研發上率先突破技術關(guan) 鍵環節，並實現了產(chan) 業(ye) 化。

走進矽電公司研發部門，研發人員正忙於(yu) 測試各類芯片技術指標及調試檢測設備。王勝利告訴記者：“我們(men) 的核心技術是探針測試技術，簡單來說是一種測試方法。晶圓片單一晶粒的尺寸都非常小，其測量接觸麵直徑一般隻有50微米，相當於(yu) 頭發絲(si) 斷麵的三分之二大小，測試都必須在顯微鏡下完成。在電路測試中我們(men) 一方麵要通過檢測設備給電路輸送信號，另一方麵要把信號接出來。這就需要探針精準對接每一個(ge) 測量觸點。”

王勝利告訴記者，探針台負責晶圓的輸送與(yu) 定位，使晶圓上的晶粒依次與(yu) 探針接觸並逐個(ge) 測試。它可以將參數特性不符合要求的芯片記錄下來，便於(yu) 在後道工序之前及時將其剔除，這樣就有效地提高了後道生產(chan) 的成品率，降低了器件的製造成本。探針台屬於(yu) 半導體(ti) 設備領域的高精尖設備，是集成電路產(chan) 業(ye) 發展的核心專(zhuan) 用設備，行業(ye) 技術壁壘較高，在設備的精度、可靠性、視覺智能多係統擬合、測試工藝方麵均有非常嚴(yan) 苛的要求，是對生產(chan) 廠商在工藝、技術、生產(chan) 流程等方麵的綜合考驗。

推進探針台設備實現國產(chan) 化替代是矽電公司一直以來的發展目標。“行業(ye) 中競爭(zheng) 對手雖然不多，但很多人不願意做，因為(wei) 這個(ge) 東(dong) 西太費勁。”王勝利坦言，“2002年開始，我與(yu) 另外3位合夥(huo) 人啟動了晶圓測試探針台的研發。原本看似簡單的東(dong) 西，在進入研發後才發現其中涉及的細節與(yu) 技術太多了。我們(men) 很多次都差點堅持不下來。”

“為(wei) 了保障技術的不斷更新，公司的各項資源都會(hui) 優(you) 先保障技術研發，我們(men) 每年研發投入占總營收的9%左右。”王勝利表示，經過多年發展，矽電公司已逐漸掌握了包括高精度快響應大行程精密步進技術、定位精度協同控製、探針卡自動對針技術、晶圓自動上下片技術、基於(yu) 智能算法的機器視覺、電磁兼容性設計技術等多項探針台設備研發核心技術。同時，矽電公司可根據溫控、高壓、磁場及輻射等不同的環境需求，提供芯片檢測一條龍解決(jue) 方案。截至2019年底，公司已取得國內(nei) 外授權專(zhuan) 利111項、軟件著作權36項。

得益於(yu) 不斷開拓創新，矽電公司已成長為(wei) 目前國內(nei) 少數具備批量設計及生產(chan) 各種規格探針台、晶粒及晶圓表麵檢查設備、晶粒拾取及挑選係統等晶粒級處理設備的企業(ye) 。王勝利表示，隨著晶圓從(cong) 6英寸到8英寸再到目前12英寸的發展，探針台也經曆了從(cong) 手動、半自動到全自動的發展曆程。目前，在半導體(ti) 領域，矽電公司相繼推出了對應不同集成電路領域的探針台產(chan) 品；在LED領域，矽電公司自行研發的倒裝芯片全自動探針台、正裝芯片全自動探針台以及全自動抽測探針台組成了光電半導體(ti) 係列探針台產(chan) 品。同時，矽電公司也應市場需求及時推出了VCSEL芯片探針測試係統及VCSEL模組測試係統、垂直紅外光電芯片測試機及全自動晶圓鏡檢機等產(chan) 品，豐(feng) 富了公司的產(chan) 品線。