高斯光勻化的微透鏡陣列有區別於(yu) 傳(chuan) 統光學元件的結構,所以微透鏡陣列具有較多的優(you) 異效果。微透鏡陣列較為(wei) 常見的應用有:高斯光整形,高斯光勻化,激光勻化,波前探測,光纖耦合,激光切割等。而這其中,激光勻化,高斯光整形,高斯光勻化是較為(wei) 常見的。因為(wei) ,無論是用於(yu) 激光加工,還是照明領域,光纖耦合,高斯光勻化都可以大大的提高效果和過程的可控性。然而市麵上微透鏡陣列品類繁多,參數複雜,廠家各異。那麽(me) 該如何基於(yu) 自己的激光勻化要求,挑選合適的微透鏡陣列呢?本文就雙陣列的勻化方案,如果選擇用於(yu) 高斯光勻化整形的微透鏡陣列做了簡要介紹。
雙微透鏡激光勻化的高斯光整形方案光路圖如下:
LA1、LA2、FL和FP從(cong) 左而右分別是微透鏡陣列1、微透鏡陣列2、聚焦鏡和成像焦麵。從(cong) 上圖可見,微透鏡陣列的結構為(wei) 平凸結構,平麵相對,凸麵即帶有微透鏡的結構對外。入射待勻化整形的高斯激光從(cong) 左邊經準直後入射到微透鏡陣列。兩(liang) 片高斯光勻化微透鏡陣列的子單元口徑保持或接近。微透鏡陣列之間的間隔越等與(yu) 微透鏡陣列1的焦距,一般是略大於(yu) 。微透鏡陣列與(yu) 聚焦鏡FL的距離會(hui) 略微影響出勻化光斑的發散角,但是影響不大,一般選型計算時忽略不計。實際操作中可調整這個(ge) 距離以微調微透鏡陣列的效果和大小。末端即為(wei) 微透鏡陣列高斯光勻化的效果端麵。
微透鏡激光勻化光斑大小關(guan) 係如下式所示:(pLA為(wei) 透鏡陣列的子單元口徑大小)
DFT=pLA·fFL·(fLA1+fLA2-a12)/(fLA1·fLA2)
在上光路所示的條件下,a12=fLA2,上式可以化簡如下:
DFT= pLA·fFL/ fLA2
所以,依據公式可以較為(wei) 簡答的得出需要的微透鏡陣列參數範圍和目標方向。假定,需要的勻化要求是:在300mm出形成10*10mm的方形光斑。那麽(me) 便有:DFT=10mm,fFL=300mm,帶入公式,可計算得出微透鏡陣列的口徑與(yu) 焦距的比值:pLA/fLA2=0.03333。如果是矩形,則計算長短邊分別計算一次。
理論上,微透鏡口徑越小,勻化效果越好。但是太小的口徑,會(hui) 有衍射幹擾,硬性的勻化效果反而沒有那麽(me) 好。所以,一般建議選型的時候,口徑可以稍微放大一些。微透鏡的口徑需求確定了,邊可以對應這pLA/fLA2=0.03333計算出對應的焦距應該是多少,也邊可以得到可以接受的微透鏡參數範圍。
在光路中,微透鏡末端的聚焦鏡主要的作用是提高勻化效果,調整高斯光勻化的位置和尺寸大小,並非必要的。如果需要的光斑在遠處或者尺寸較大,可以撤去。
需要注意的是,因為(wei) 選用的是周期性微透鏡陣列,所以對光源本身有一定要求。如果是M2較小,相幹性高的光源,微透鏡陣列的高斯光整形勻化效果反而沒那麽(me) 好。這種光源,推薦使用衍射性的整形勻化元件,可以達到很高的勻化性。當然,也可以先將光通過散射片,在入射到微透鏡陣列勻化鏡組,但是效果性價(jia) 比不高,一般情況不推薦。
雙片微透鏡陣列的使用過程中,特別需要主要的是兩(liang) 片陣列的中心對齊。這個(ge) 可以通過旋轉鏡片,微小移動進行調節。因於(yu) 微透鏡陣列麵積精度和光源質量的原因,勻化光斑會(hui) 帶有一定的散斑,這個(ge) 是正常現象。由於(yu) 散斑較弱,一般不影響使用。而消除散斑對精度要求比較高,花費較大,性價(jia) 不高。這是微透鏡陣列整形的常見現象,無論是國內(nei) 外的產(chan) 品均如此。
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