2019年除了5G技術，柔性可折疊屏幕也成為(wei) 今年手機行業(ye) 的熱門話題。近日，手機廠商三星、華為(wei) 先後分別發布了Galaxy Fold、HUAWEI Mate X折疊屏手機，而柔宇科技和小米先後展示了正在研發的可折疊手機真機。另一邊，OPPO與(yu) 華為(wei) 則顯得更加含蓄，二者表示把可折疊手機均保留在MWC 2019（世界移動大會(hui) ）上發布。蘋果雖然沒有直接“參戰”，但也一直暗自在布局可折疊手機的相關(guan) 技術。據CNET報道，蘋果日前再一次更新了一項關(guan) 於(yu) 可折疊iphoness的專(zhuan) 利，它展示了使用折疊屏幕的各種方式……

折疊手機的出現，打破了手機和平板的界限，同時還支持5G應用，這也標誌著電子信息產(chan) 業(ye) 的裏程碑式變革到來。折疊屏手機新性能對生產(chan) 加工工藝也產(chan) 生了更高的要求。其中，約70%的手機加工鏈和製造環節都用到了多種不同的激光工藝。 

在柔性OLED生產(chan) 過程中，激光加工對各段製程起著至關(guan) 重要的作用，並且激光以其靈活高效成為(wei) 柔性化生產(chan) 線的首選。目前，柔性屏及各種可穿戴電子已經成了消費電子行業(ye) 的趨勢之一，柔性材料的多層結構，使得加工柔性材料成了高精尖的難題。隨著超快激光技術的成熟、成本的降低，使其激發在加工柔性材料中的應用潛力。 

柔性顯示麵板生產(chan) 中的激光剝離工藝

在柔性幕方麵，LLO激光取下技術是將柔性PI基底和玻璃背板剝離的關(guan) 鍵工序。在OLED全製程中，激光修複技術可以有效提高麵板製造良率。以上這些，都是激光技術在OLED麵板製造中的應用。

柔性顯示麵板或超薄半導體(ti) 晶片批量生產(chan) 的常規方法為(wei) ：先在塗覆聚合物的剛性玻璃載體(ti) 上刻寫(xie) 電路，並在最終工藝步驟中將器件從(cong) 載體(ti) 上剝離。其技術方案為(wei) ——將紫外準分子激光器的線光束透過玻璃基板載體(ti) ，照射在聚合物層上。 

由於(yu) 激光的波長很短，材料對激光的吸收率很高，隻有緊鄰玻璃基板的聚合物被蒸發，從(cong) 而實現了基板與(yu) 器件的分離。采用308nm準分子激光器進行激光剝離時，激光脈寬約為(wei) 25ns，需要的能量密度約為(wei) 200J/cm²。此外，由於(yu) 激光波長較短，吸收率很高，剝離過程中無需製備額外的過渡層來增強激光吸收。

激光剝離工藝是更好的選擇 

實踐證明，許多常規的剛性載體(ti) 分離技術並不適合用於(yu) 規模化生產(chan) 。例如，機械剝離技術和化學蝕刻工藝，其生產(chan) 效率低，局限性大，而且生產(chan) 良率也不高。甚至，後一種方法還會(hui) 對環境產(chan) 生危害。 

相比之下，激光剝離工藝則是更好的選擇。為(wei) 了將激光吸收限製在聚合物與(yu) 玻璃載體(ti) 界麵附近，該工藝要求使用波長盡量短的激光(波長短於(yu) 350nm)。由於(yu) 準分子激光器具有波長短(激光剝離工藝中常用的是308nm以及248nm)、能量和功率高的特點，因此在精密微電子器件生產(chan) 中，采用準分子激光器進行激光剝離，不僅(jin) 良率高，而且產(chan) 量大，完全可以滿足微電子市場的批量化生產(chan) 需求。

事實上，短波長準分子激光器係統配合高質量的線光束光學器件，對於(yu) 批量化生產(chan) 而言是至關(guan) 重要的：激光剝離技術通常用於(yu) 高價(jia) 值元器件的製備;激光剝離工藝位於(yu) 一係列高成本工藝步驟之後;激光剝離工藝是許多高價(jia) 值元器件和相應的零部件製備的核心技術;在柔性屏的製備中，激光剝離工藝1% 的不良率，就會(hui) 造成每年高達數百萬(wan) 美元的利潤損失。 

柔性屏激光切割工藝技術 

折疊屏手機從(cong) 原來一塊玻璃屏幕變成了兩(liang) 塊玻璃屏幕，玻璃的用量翻了一倍。采用傳(chuan) 統的機加方式切割玻璃容易發生崩邊、裂紋等問題。相較之下，激光切割工藝采用非接觸式加工方式，適用於(yu) 薄玻璃及超薄玻璃加工，具備可實現異形切割，具有切割邊緣崩邊小、精度高等優(you) 點，且大幅提高了工件良率及加工效率。 

隨著OLED柔性顯示技術大勢已定，越來越多的激光企業(ye) 開始布局新戰略：

據了解，相幹公司推出了新一代具有高脈衝(chong) 重複頻率的超短脈衝(chong) 激光器HyperRapid NX，可在最高1,600 kHz的重複頻率下提供30W的紫外光平均功率，從(cong) 而成為(wei) OLED切割應用的標杆。

大族顯示與(yu) 半導體(ti) 自主研發的國內(nei) 首台柔性OLED激光切割設備在6月正式投產(chan) ，這款設備集分切、倒角、檢測於(yu) 一體(ti) ，主要應用於(yu) OLED高分子聚合材料的激光切割，推動了柔性顯示技術的快速發展。

華工激光研發了一款OLED麵板玻璃異形全自動切割機配有皮秒激光器，專(zhuan) 為(wei) OLED麵板的快速切割而開發，並集成自動化光學檢測/超聲波裂片等工藝，適用於(yu) 批量化生產(chan) 。

結語：隨著手機行業(ye) 發展需求不斷變化，激光加技術為(wei) 適應變化也在麵臨(lin) 著更新升級。由於(yu) 柔性屏生產(chan) 工藝中大量使用固體(ti) 激光器（DPSS），未來幾年國內(nei) 新建柔性屏生產(chan) 線的投入將達 3000 億(yi) 元，這將產(chan) 生大量新增固體(ti) 激光器需求，同時也激發著激光在柔性屏製造中的應用潛力。

文稿/ cici