9月22日，大族激光科技產(chan) 業(ye) 集團股份有限公司（下稱“大族激光”）在互動平台回複投資者關(guan) 於(yu) 研發光刻機技術的問題表示，公司光刻機項目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方麵的應用。

大族激光表示，公司和荷蘭(lan) 阿斯麥公司沒有合作。荷蘭(lan) 阿斯麥（ASML）是全球領先的半導體(ti) 行業(ye) 光刻係統供應商，負責設計和製造光刻機。

此外，在回複投資者關(guan) 於(yu) 公司三季度訂單情況時，大族激光稱，公司三季度訂單充足，產(chan) 能利用率情況良好。公司應用於(yu) 第三代半導體(ti) 的設備已經實現批量銷售。

大族激光1996年創立於(yu) 深圳，是亞(ya) 洲最大、世界排名前三的工業(ye) 激光加工設備生產(chan) 廠商，主要產(chan) 品包括激光打標機係列、激光焊接機係列、激光切割機係列、新能源激光焊接設備、激光演示係列、PCB鑽孔機係列、工業(ye) 機器人等多個(ge) 係列200餘(yu) 種工業(ye) 激光設備及智能裝備解決(jue) 方案。