7 月 11 日消息,據“中國光穀”微信公眾(zhong) 號消息,近期,華工科技製造出我國首台核心部件 100% 國產(chan) 化的高端晶圓激光切割設備,在半導體(ti) 激光設備領域攻克多項中國第一。
據華工激光半導體(ti) 產(chan) 品總監黃偉(wei) 介紹,晶圓機械切割的熱影響和崩邊寬度約 20 微米,傳(chuan) 統激光在 10 微米左右,而經過一年努力,華工科技的半導體(ti) 晶圓切割技術成功實現升級,熱影響降為(wei) 0,崩邊尺寸降至 5 微米以內(nei) ,切割線寬可做到 10 微米以內(nei) 。
IT之家注:晶圓切割和芯片分離無論采取機械或激光方式,都會(hui) 因物質接觸和高速運動而產(chan) 生熱影響和崩邊,從(cong) 而影響芯片性能。
據透露,華工激光正在研發第三代半導體(ti) 晶圓激光改質切割設備,計劃今年 7 月推出新產(chan) 品,同時也正在開發我國自主知識產(chan) 權的第三代半導體(ti) 晶圓激光退火設備。
華工科技官網顯示,華工科技產(chan) 業(ye) 股份有限公司脫胎於(yu) 中國知名學府 —— 華中科技大學,是“fun88官网平台第一股”,目前涵蓋以激光加工技術為(wei) 重要支撐的智能製造裝備業(ye) 務、以信息通信技術為(wei) 重要支撐的光聯接、無線聯接業(ye) 務,以敏感電子技術為(wei) 重要支撐的傳(chuan) 感器業(ye) 務格局,產(chan) 業(ye) 基地近 2000 畝(mu) 。
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