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全球首個芯片級229nm深紫外激光器發布

來源:微電子製造2026-05-07 我要評論(0 )   

近日,Uviquity宣布推出全球首個(ge) 芯片級229nm深紫外激光器。這是全球首款在該波長下由單一半導體(ti) 芯片製成的激光器,提供準直、窄線寬、高光譜純度的輸出,適用於(yu) 苛刻的分...

近日,Uviquity宣布推出全球首個(ge) 芯片級229nm深紫外激光器。這是全球首款在該波長下由單一半導體(ti) 芯片製成的激光器,提供準直、窄線寬、高光譜純度的輸出,適用於(yu) 苛刻的分析與(yu) 檢測應用。


Uviquity是一家開發紫外波段集成光子學的深科技公司。據其介紹,該激光器基於(yu) Uviquity的氮化鋁(AlN)光子集成電路(PIC)平台構建,通過在專(zhuan) 有AlN波導中進行二次諧波產(chan) 生(SHG)來實現深紫外輸出。


229nm深紫外光具備更長波段所無法實現的分析能力,包括生物與(yu) 化學特征物的共振增強檢測,以及在大多數有機樣品中幾乎不存在背景熒光幹擾的測量窗口。該激光器支持這一波段範圍內(nei) 的多種深紫外光譜技術,包括拉曼光譜、熒光光譜、光致發光光譜和吸收光譜。


目前,需要深紫外的儀(yi) 器開發者通常會(hui) 將基於(yu) 激光器、燈和LED的多種紫外光源組合使用,但這些光源在光譜純度、亮度、壽命、形態和成本等方麵各有顯著缺陷,從(cong) 而製約了儀(yi) 器設計。在許多應用中,唯一能達到性能要求的光源是體(ti) 積龐大、價(jia) 格昂貴的台式係統。Uviquity將深紫外激光器的性能集成於(yu) 一顆芯片上,封裝成緊湊的光電器件,僅(jin) 需低壓電輸入即可工作。其形態堅固且可現場部署,適用於(yu) 手持式、在線式和嵌入式儀(yi) 器設計。


該產(chan) 品的應用領域包括半導體(ti) 檢測與(yu) 計量、實時工業(ye) 過程分析、連續氣體(ti) 分析、無試劑水質監測,以及痕量級國防傳(chuan) 感。Uviquity將於(yu) 2026年第四季度開始向OEM合作夥(huo) 伴提供樣品。


“我們(men) 與(yu) 這些應用領域的科學家和工程師進行了深入交流,”Uviquity聯合創始人兼首席執行官Scott Burroughs表示,“他們(men) 深知這些波長的深紫外光能帶來什麽(me) 。他們(men) 一直缺少的是一個(ge) 緊湊、可靠、能夠圍繞它來開發產(chan) 品的光源。這正是我們(men) 在改變的局麵。”


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