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半導體/PCB

從我國激光技術全球領先,看我國光刻機發展緩慢原因

星之球科技 來源:LeoGo科技2020-04-13 我要評論(0 )   

我們(men) 應該知道fun88官网平台技術在全球領先,甚至排在第一位。1964年,錢學森院士提議取名為(wei) “激光”,從(cong) 1961年中國第一台激光器到世界上第一所激光技術的專(zhuan) 業(ye) 研究所——中國...

我們(men) 應該知道fun88官网平台技術在全球領先,甚至排在第一位。1964年,錢學森院士提議取名為(wei) “激光”,從(cong) 1961年中國第一台激光器到世界上第一所激光技術的專(zhuan) 業(ye) 研究所——中國科學院上海光學精密機械研究所的成立,而且在ICF激光驅動器、高功率化學激光器、半導體(ti) 泵浦的固體(ti) 激光器、超短超強激光器等等各方麵都有進步,可以說我國的激光事業(ye) 一直在不斷進步。

可是激光≠光刻機技術

我們(men) 知道光刻機技術所需要的是——

需要最精密的技術。包括德國機械工藝、蔡司鏡頭和美國公司提供的光源。

涉及多個(ge) 學科,包含了係統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳(chuan) 輸、高精度微環境控製等多項先進技術。

光刻工藝的具體(ti) 步驟繁瑣,需要通過矽片表麵清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序,不是簡單的激光就能解決(jue) 的。

“拉同夥(huo) ”,實際上ASML能夠成功,是因為(wei) 將三星、台積電、英特爾等等共同拉入ASML 公司。

為(wei) 了解決(jue) 激光,ASML 收購了全球領先的準分子激光器供應商 Cymer,為(wei) 了解決(jue) 光刻係統,以 10 億(yi) 歐元現金入股光學係統供應商卡爾蔡司。

可以說,ASML的成功不是一蹴而就的,激光≠光刻機。


我們(men) 的製約因素,不僅(jin) 僅(jin) 技術


其實,影響我們(men) 的不僅(jin) 僅(jin) 是技術,還有技術壁壘。從(cong) 《瓦森納協議》中的影響,讓我們(men) 不得不受限於(yu) 技術的“限製”。很多時候不是我們(men) 不想發展,而是很多技術它是不能夠進來的,在這種情況下,我們(men) 的光刻機的發展受到了非常大的限製。


在技術趕不上,又被封鎖的情況下,我們(men) 確實會(hui) 在光刻機方麵有所欠缺。當然,我們(men) 也期盼能夠在各種技術的合力下,擺脫限製,得到發展,走出一條打破光刻機技術之路。


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