據中國台灣媒體(ti) 報道,韓國產(chan) 業(ye) 通商資源部20日宣布,韓國化學大廠SKC目前正對用於(yu) 半導體(ti) 製程的光罩基板(Mask Blank)的試作樣品展開測試,預計2020年下半年正式展開量產(chan) 。
據報導,韓國的半導體(ti) 製造中,其光罩基板約90%依賴日本供應,同時光罩基板也是韓國大量進口自日本的20種高科技材料之一,韓國政府希望在20種主要材料、零件、設備,能脫離對日貨的倚賴,而光罩基板就名列其中。
資料顯示,SKC與(yu) SK海力士同屬於(yu) SK集團旗下,自1976年成立以來,在韓國最早開發及生產(chan) 了不計其數的薄膜、化學、材料領域的產(chan) 品,其核心部門為(wei) 薄膜和化學部門。
自2018年開始,SKC已投入430億(yi) 韓元(約3500萬(wan) 美元)用於(yu) 建設光罩基板廠,並於(yu) 2019年建成,SKC不僅(jin) 計劃在2020年內(nei) 開始光罩基板的量產(chan) ,同時也計劃在2021年量產(chan) 更高端的產(chan) 品。
2019年7月,日本經濟產(chan) 業(ye) 省宣布,將對用於(yu) 智能手機及電視機的半導體(ti) 等製造過程中需要的三種材料加強對韓國的出口管製,這三種材料分別為(wei) 用於(yu) 半導體(ti) 清洗的氟化氫、用於(yu) 智能手機顯示屏等的氟化聚酰亞(ya) 胺,以及塗覆在半導體(ti) 基板上的感光劑“光刻膠”。
對此,韓國也出台了相關(guan) 措施以應對日本針對韓國的出口管製措施。如提出了100大核心戰略產(chan) 品國產(chan) 化計劃,將投入7.8萬(wan) 億(yi) 韓元的研發費用,在1至5年內(nei) 實現核心戰略產(chan) 品國產(chan) 化,而韓國企業(ye) 也在加速在該領域的國產(chan) 化。
2019年,外媒曾報道,SK海力士已開始測試從(cong) 國內(nei) 采購的高純度氟化氫,而三星電子也開始在半導體(ti) 生產(chan) 線上試用韓國企業(ye) 加工的氟化氫。
2020年初,國外媒體(ti) 曾報道稱,韓國產(chan) 業(ye) 通商資源部表示,韓國化工企業(ye) 已確立能以高純度大量生產(chan) 氟化氫的製造技術,氟化氫被用於(yu) 晶圓的清洗等方麵。
韓國產(chan) 業(ye) 通商資源部的鄭升一次官20日在視察SKC位於(yu) 中部忠清南道天安市的工廠時強調,必須在材料、零件、設備等政策方麵迅速交出成果。特別是日本於(yu) 去年7月開始就對韓國展開嚴(yan) 格出口限製的3種高端化學材料,務必要在年內(nei) 達成安定供應的目標。
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