描述
雙麵覆銅板在線測厚,考慮到在線傳(chuan) 送時覆銅板上下竄動帶來的測量誤差,應在測厚點上下安裝兩(liang) 個(ge) 傳(chuan) 感器。如下示意圖

雙麵覆銅板測厚早期用電容式傳(chuan) 感器。它的優(you) 點是表麵色斑,表麵微觀溝槽不影響測量結果,其缺點是傳(chuan) 感器頭與(yu) 被測麵間隙很小,且受間隙中介質變化而影響精度。對安裝調校的環境要求很高,使用受到限製。而最致命的缺點是電容式傳(chuan) 感器是麵積效應,它測的是大於(yu) 麵積5㎜處的平均厚度。這對精密到某一點的板厚測量是很大的缺陷。
於(yu) 是激光位移傳(chuan) 感器受到重視,因為(wei) 傳(chuan) 感器安裝距離遠,環境要求並不高,而且基本上是一個(ge) 點的測厚。適於(yu) 精密到某一點的板厚測量。問題是,一般慢反射激光傳(chuan) 感器對表麵色斑的敏感,以及幾十個(ge) 微米直徑的光斑對表麵微觀溝槽敏感使板厚測量困難重重。
德國米銥針對上述問題,對ILD1800激光傳(chuan) 感器進行實質性的創性。其中用同期補光核心技術使色斑敏感降為(wei) 零,以及改進透視鏡使光斑直徑增大到300微米,抑製了微觀表麵溝槽影響。加上原ILD1800可同步掃描功能,使同一測量上下兩(liang) 個(ge) 傳(chuan) 感器能同步掃描,完全避免覆銅板在線傳(chuan) 送時上下竄動帶來的測量誤差,以及保證兩(liang) 個(ge) 傳(chuan) 感器同步測量覆銅板同一個(ge) 點的厚度。
以下是台灣景揚公司應用德國米銥測試技術公司改進型ILD1800-2(100)激光傳(chuan) 感器成功案例:
PCB板厚儀(yi) 技術指標:

下圖表是800個(ge) 測點數據最大厚度誤差0.9微米記錄

PCB板厚儀(yi) 外觀圖

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