光刻機大廠阿斯麥爾(ASML)1月3日晚間表示，它在德國柏林的一家工廠發生了火災。不過，過程中說沒有人受傷(shang) 。至於(yu) ，現在評估火災對其營運的影響狀況還為(wei) 時過早。

ASML是當前所有先進半導體(ti) 芯片製造商的關(guan) 鍵生產(chan) 設備供應商。由於(yu) 全球半導體(ti) 芯片目前麵臨(lin) 供應短缺的問題，使得該公司目前正在加緊生產(chan) 設備當中。因此，任何事件造成出貨時間的延遲狀況，都會(hui) 衝(chong) 擊到全球半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 中那些企圖擴大產(chan) 能的客戶們(men) 。

起火的公司前身是Berliner Glas，是ASML的供應商。ASML公司2020年才收購了這家公司，當時該公司的年營收約為(wei) 2.3億(yi) 歐元。Berliner Glas主要為(wei) ASML光刻機製造光學係統，這是光刻機的三大核心部件之一。Berliner Glas 所生產(chan) 的零組件主要包括晶圓(wafertables)、光罩盤(reticle chucks)、以及反射鏡(mirror blocks) 等產(chan) 品。 

報道進一步指出，ASML對於(yu) 火災的狀況強調，目前對火災損失，或是事件本身是否會(hui) 對ASML在2022年的生產(chan) 計劃產(chan) 生任何影響，其發表任何聲明都為(wei) 時過早。現階段預估將需要幾天時間來統計損失，其結果也將盡快向市場發布最新資訊。不過，ASML的股價(jia) ，在傳(chuan) 出發生火災之前持續維持上漲約1%的態勢。但是，在傳(chuan) 出發生火災事件之後，則是股價(jia) 下跌約0.3% 幅度，來到每股704.4 歐元的價(jia) 位。

2021年10月底，ASML發布了Q3財報，淨銷售額52億(yi) 歐元（約合386億(yi) 元），毛利率51.7%，淨利潤17億(yi) 歐元（約合126億(yi) 元）。官方預計四季度銷售額49億(yi) 到52億(yi) 歐元，毛利率在51%到52%。

ASML稱，三季度，EUV光刻機係統的訂單量達到了29億(yi) 歐元，且當季的出貨量和收入創下曆史新高。目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶那裏也達到了每小時加工160片晶圓的創紀錄效率。

DUV（深紫外）光刻機方麵，完成出貨1000台ArF（氟化氬浸沒式光刻係統），這距離第一台浸沒式光刻機（XT:1700Fi）出貨過去了15年。

此外，ASML的第一台高NA EUV光刻機預計將在2023年開放早期訪問，2024年到2025年開放給客戶進行研發並從(cong) 2025年開始量產(chan) 。據悉，相較於(yu) 當前0.33NA的EUV光刻機，0.55NA有了革命性進步，它能允許蝕刻更高分辨率的圖案。分析師Alan Priestley稱，0.55NA光刻機一台的價(jia) 格會(hui) 高達3億(yi) 美元（約合19億(yi) 元），是當前0.33NA的兩(liang) 倍。