據悉，科學家發現準分子激光誘導CaF2晶體(ti) 的損傷(shang) 機理。

中科院安徽光學精密機械研究所、合肥物理科學研究院（HFIPS）進行了一項研究，描述了CaF2的損傷(shang) 機理晶體(ti) 是紫外射線（UV）光學係統中的重要組成部分，並得出結論，它與(yu) 解理平麵和滑動係統密切相關(guan) 。

準分子激光誘導CaF2晶體(ti) 損傷(shang) 機理研究。

相關(guan) 結果發表在《Applied Surface Science》上。

該團隊由LIANG Xu教授和SHAO Jingzhen教授領導，利用自主研發的KrF準分子激光研究了激光誘導損傷(shang) 特性，分析了三種不同晶平麵表麵形貌的形成機理。

激光損傷(shang) 原理圖。

"我們(men) 研究了的解平麵，滑移係統〈110〉，晶體(ti) 平麵，滑移係統和解理平麵之間的角關(guan) 係。"SHAO解釋說，"並發現正是CaF2晶體(ti) 的結構特征導致了不同晶麵上的不同機械性能。”

CaF2晶體(ti) 直接影響紫外光學係統的穩定性和壽命。因此，科學家們(men) 將注意力轉向了紫外激光與(yu) CaF2相互作用的過程和機製，提高晶體(ti) 的抗激光損傷(shang) 性。

研究了(1 1 0)、(1 1 0)和(1 0 0)晶麵定向CaF2晶體(ti) 的平均粗糙度(Sa)圖像。

在這項研究中，科學家們(men) 用這種248nm的準分子激光器在CaF2晶體(ti) 上完成了激光輻照實驗。他們(men) 獲得了三種不同CaF2晶體(ti) 平麵（100）、（110）和（111）的損傷(shang) 形態演變和激光誘導損傷(shang) 閾值。

結果顯示出不同的損傷(shang) 形態。平麵（111）的損傷(shang) 表現為(wei) 層狀剝落現象，而平麵（110）和平麵（100）則表現為(wei) 爆裂狀損傷(shang) ，起源於(yu) 裂紋或局部損傷(shang) 點。

隨著激光能量密度的增加，CaF2晶體(ti) 的損傷(shang) 形態發生了演變。

這些結果為(wei) 不同晶麵的CaF2晶體(ti) 在紫外激光係統中的應用奠定了基礎。

來源：KrF excimer laser induced damage and its mechanism of CaF2 singlecrystal with (1 1 1), (1 1 0) and (1 0 0) planes，Applied SurfaceScience，10.1016/j.apsusc.2022.152716