主要用於(yu) 激光鑽孔應用的激光器是 CO2、Nd:YAG、準分子和銅蒸氣激光器 (CVL)。

CO2激光

脈衝(chong) 模式的 CO2 激光器可用於(yu) 金屬和非金屬的鑽孔。然而，尤其是在金屬上鑽小孔和/或深孔時，Nd:YAG 激光器更適合，因為(wei) 它在較短波長（Nd:YAG 為(wei) 1.06µm，CO2 為(wei) 10.6µm）下具有更好的能量耦合，並且峰值功率更高和脈衝(chong) 重複率，中低功率 CO2 激光器主要用於(yu) 非金屬鑽孔應用和陶瓷劃線（即一係列孔）。

Nd:YAG 激光器

Nd:YAG 激光器（基波波長 1.06µm）是用於(yu) 金屬激光鑽孔的主要激光器，主要應用無疑是航空發動機部件（渦輪葉片、燃燒室等）的冷卻孔鑽孔。使用非線性晶體(ti) （提供倍頻），即縮短激光波長，Nd:YAG 激光器也可以在光譜的可見光或紫外 (UV) 部分工作。

準分子激光器

準分子激光器發射光譜紫外部分的激光，主要用於(yu) 精密鑽孔、仿形和微加工，如微電子行業(ye) 中印刷電路板/印刷線路板的微孔鑽孔。它們(men) 也最適合在一個(ge) 或幾個(ge) 步驟中製作孔陣列。由於(yu) 低脈衝(chong) 重複率，準分子激光器不太適合用於(yu) 金屬。

銅蒸氣激光器 (CVL)

基本 CVL 產(chan) 生光譜可見部分（綠色和黃色）的激光， CVL 固有地以非常高的重複率脈衝(chong) 。 CVL 與(yu) 準分子激光器一樣，用於(yu) 精密鑽孔、仿形和微加工。 CVL 可用於(yu) 大多數材料，包括金屬。