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半導體激光器

高功率QCW激光增益模塊的可靠性研究

fun88网页下载通訊員 來源:廣東(dong) 星之球2011-11-03 我要評論(0 )   

CEO 製造生產(chan) 了一係列的用於(yu) 高功率 QCW 的陣列產(chan) 品。這些產(chan) 品采用熱膨脹係數匹配熱沉技術以及硬封裝技術,進而最大限度的提高器件的可靠性。 這些產(chan) 品的壽命測試結果在...

 

CEO製造生產(chan) 了一係列的用於(yu) 高功率QCW的陣列產(chan) 品。這些產(chan) 品采用熱膨脹係數匹配熱沉技術以及硬封裝技術,進而最大限度的提高器件的可靠性。

這些產(chan) 品的壽命測試結果在這裏做了總結。這些測試量化了QCW陣列和相關(guan) 激光增益模塊的可靠性。這裏給出了原始的壽命測試數據,並對其進行了統計分析。這些結論對於(yu) 激光係統設計者是很有用的。

該壽命測試展示了這些陣列在不同的運行區域的高水平的可靠性。如單條陣列的MTTF發射次數預測可高達198億(yi) 次,四條陣列的MTTF發射次數也測可高達146億(yi) 次。另外,也對一個(ge) 大的泵浦源條件陣列的壽命進行了分析,可以看到預期的壽命為(wei) 135億(yi) 次發射次數。

這比在重複率低於(yu) 370Hz的運行條件預期的運行壽命高了10000個(ge) 小時。

 

1.引言

二極管泵浦固體(ti) 激光器(DPSS)被廣泛應用於(yu) 工業(ye) ,科研以及軍(jun) 事等領域。這些應用領域包括激光燒蝕,激光切割,激光焊接,激光測距,激光測探等許多用途。每一個(ge) 領域對DPSS激光器都有各種各樣的不同要求,如脈衝(chong) 能量,脈衝(chong) 寬度以及光束質量等等。

傳(chuan) 統上,高能量脈衝(chong) DPSS激光器是通過Q-開關(guan) 技術獲得。一般都是連續(CW)激光二極管陣列對激光介質如Nd:YAG棒或切片進行泵浦的。然而如果是利用準連續(QCW)激光二極管陣列泵浦的話,我們(men) 可以從(cong) 中獲得更多的優(you) 點。相比CW, QCW激光二極管陣列的峰值功率會(hui) 更高。另外,多個(ge) 高峰值功率QCW巴條封裝在同一個(ge) 區域。這些巴條就可以看作單個(ge) 的CW巴條,因為(wei) 每個(ge) 巴條在QCW模式運行時,更低的平均熱量損失。這些因素,再加上能夠組裝更加緊湊的二極管陣列,從(cong) 而可以在QCW模式運行下,獲得非常高的峰值功率。再者,QCW泵浦可以減少激光增益物質的熱量,從(cong) 而有效的降低熱聚束效應,提高激光的光束質量。

在以前,QCW泵浦方案的最大缺點在於(yu) 激光二極管陣列的壽命較短。今天,壽命超過10000小時的CW激光二極管陣列在工業(ye) 已經得到廣泛的生產(chan) 。這相當於(yu) 可以連續運行416天,並被認為(wei) 是所有DPSS係統可靠性的一個(ge) 指標。QCW激光二極管陣列能夠在高功率水平下運行的特性,使得它們(men) 備受激光設計者的青睞(典型下,是相應CW2—3倍)。傳(chuan) 統上,這些激光二極管輸出麵上的巴條很容易遭遇光學突變破壞(COD),從(cong) 而得不到應用。因此,為(wei) 了吸引激光係統設計者以及生廠商,COD必須得到有效的抑製,產(chan) 品也必須高於(yu) 10000小時的工作壽命。

NGCEO製造CWQCW激光二極管巴條和陣列已經有十年多的曆史。NGCEO最近在陣列封裝技術和巴條製造過程取得了一些進展。進而NGCEO可以生長出壽命遠遠高於(yu) 工業(ye) 應用需求的QCW激光二極管陣列。

 

2. 高功率QCW陣列

 NGCEO擁有一係列的高功率QCW陣列家族。這些產(chan) 品都可以在要求高壽命(超過一年的連續運行時間)的場合中使用。在軍(jun) 事工業(ye) 等需求高功率,以及嚴(yan) 酷的工作環境要求[1],發展了一整套的技術。這些產(chan) 品都應用了這些技術。獲得長壽命的QCW陣列,需要兩(liang) 個(ge) 條件:(1)高質量的激光二極管巴條和(2)基於(yu) 硬焊接的陣列封裝技術。結合這兩(liang) 個(ge) 條件,就可以獲得高可靠性的陣列。

2.1 QCW激光二極管巴條

NGCEO在絕大多數的QCW應用中,都使用83%填充(fill factor)的巴條。這種巴條是專(zhuan) 門設計用於(yu) 高功率運行的,在808nm處,輸出功率範圍可以達到:60-230W/bar。更高的波長情況可以獲得更高的輸出功率。在典型808nm運用下,功率以及效率關(guan) 於(yu) 電流的函數在圖1中給出。這些數據的采集參數為(wei) :20Hz150μs的熱傳(chuan) 導製冷底座。

 

1NGCEO高功率QCW激光二極管巴條的功率以及效率關(guan) 於(yu) 電流的函數關(guan) 係圖

 #p#分頁標題#e#

2.2 硬焊接封裝技術

傳(chuan) 統QCW陣列壽命的主要限製因素在於(yu) 封裝激光二極管巴條過程中使用的步驟和材料。傳(chuan) 統中,軟焊接材料(例如,銦)在整個(ge) 陣列中的多個(ge) 位置上使用。使用軟焊料建立起來的陣列,由於(yu) 焊料緩變(solder creep)更容易導致封裝失敗。NGCEO在封裝方法上取得的進展,並誕生了Golden BulletTM生產(chan) 線。Golden BulletTM使用共熔合金AuSn作為(wei) 焊料和熱膨脹係數匹配的熱沉,進行封裝,有效的限製了焊料緩變不利因素,因此可以生產(chan) 處高得多的可靠性,和高壽命的巴條。

用於(yu) 這些器件的一般組裝方法,可見圖2。最開始二極管巴條被焊接在CuW熱沉(上麵覆蓋著AuSn焊料),經過一個(ge) 精心設計的適當的過程,得到低應力鍵和low-smile 巴條。這個(ge) 完成部分叫做底座巴條組裝體(ti) (MBA)。根據不同需求,MBA可以被單獨測試以及根據波長不同進行組裝。然後所有MBA焊接在一起,並附著在BeO的基底上,並由兩(liang) 個(ge) 端口,n- p-結,便於(yu) 在二次加工中,進行連接,上述全部過程,就完成了Golden BulletTM封裝。Golden BulletTM可以被附著在標準的熱沉,也可以根據客戶的需求附著在其他熱沉上。他們(men) 都可以應用在水冷和熱傳(chuan) 導冷卻場合。

 

2. Golden BulletTM組裝過程示意圖

 

3. 壽命測試結果

用於(yu) 做壽命測試的兩(liang) 個(ge) 樣品分別為(wei) :單條和四條Golden BulletTM。三片不同的晶片被用於(yu) 生產(chan) 樣品(所有三片不同晶片都用於(yu) 單條Golden BulletTM和四條Golden BulletTM)。表1,概括了相關(guan) 的測試參數。測試參數的選擇是基於(yu) 典型的Nd:YAG DPSSL泵浦情況。

1 壽命測試參數總結

 

單條Golden BulletTM

四條Golden BulletTM

樣品尺寸(封裝)

24

15

樣品尺寸(巴條)

24

60

晶片數目

3

3

驅動電流(A)

110

110

峰值功率/巴條(W)

~120

~120

峰值功率/陣列(W)

~120

~480

重複率(Hz)

750

750

脈衝(chong) 寬度(μs)

200

200

占空係數

15%

15%

 #p#分頁標題#e#

兩(liang) 個(ge) 樣品都焊接在水冷熱交換器上,並NGCEO的源於(yu) NIST的激光二極管測試平台。NGCEO 自動壽命測試平台,這些器件在測試之前就燒在樣品上。驅動樣品的電流源為(wei) NGCEO eDrive激光控製器。壽命測試平台在每隔90分鍾(大概400百萬(wan) 的發射次數)對每個(ge) 器件的輸出功率進行測量的,數據以對數形式儲(chu) 存的。圖3,展示了測試結果。15個(ge) 四條樣品中的三個(ge) 樣品,由於(yu) 遭遇到毀滅性的破壞(所有這三個(ge) 都沒能發射800萬(wan) 次),因此這三個(ge) 樣品的測量數據不包括在展示的圖3中。因為(wei) 在生產(chan) 陣列過程中的初期致命性德樣品被排除在外了,所以數據展現了NGCEO器件的期望表現。

 

3:單條(上)和四條(下)Golden BulletTM工作電流為(wei) 110A的壽命測試數據

2009 12月份後半月,樣品已經采集了將近91億(yi) 發射次數的時間。二極管巴條都未經受COD(排除初期的致命傷(shang) ),所有的樣品都是緩慢衰老的。四條樣品的退化率更慢。因為(wei) 樣品代表了四根巴條的平均退化率,所有高的退化率巴條與(yu) 低的退化率巴條,相互之間會(hui) 抵消掉。

 

4. 可靠性分析

在激光二極管工業(ye) 中,關(guan) 於(yu) 器件失效有好幾種定義(yi) 。出乎這份分析的目的,在恒定的驅動電流下,器件的功率衰減了20%以上,即可定義(yi) 為(wei) 器件失效。因為(wei) 大多數樣品在截止在文章提交時並未失效,一種可接受的外延方法應用於(yu) 這份分析。大部分的退化率與(yu) 時間都呈現線性關(guan) 係。因此,在最後30億(yi) 發射次數的退化率用於(yu) 擬合,擬合得到的公式,用於(yu) 確定每個(ge) 樣品的失效時間點(TTF)。

利用統計分析軟件(MinitabTM),對TTF數據進行分析。數據用四種分布(威布爾,基底為(wei) e的對數正態,指數分布,正態分布)公式在圖中畫出來。用以確定哪種分布,與(yu) 實驗數據更符合。選擇基底為(wei) e的對數正態分析單條和四條樣品的性質分析。圖4展示了最後的到的可靠性曲線,曲線至於(yu) 95%的置信區間。計算得到的MTTF值為(wei) :單條樣品---198億(yi) 次,四條樣品---146億(yi) 次。NGCEO仍然在延續這個(ge) 測試實驗,用於(yu) 驗證實際的失效時間是否與(yu) 外延法得到的數據相符合。

 

圖4,單條(上)和四條(下)QCWGolden BulletTM工作電流為(wei) 110A的可靠線曲線

 

5. PowerPULSETM激光增益模塊

NGCEO利用自身的高功率QCW二極管陣列技術和激光增益模塊生產(chan) 線創造了PowerPULSETM係列激光增益模塊。這些增益模塊包含高壽命的QCW陣列(激光棒:Nd:YAG, Nd:YLF, Nd:YVO4,能夠產(chan) 生高於(yu) 1焦耳的脈衝(chong) 能量。PowerPULSETM激光增益模塊的樣品如圖5所示。

 

5PowerPULSETM激光增益模塊。這些模塊包含高壽命的QCW激光二極管陣列和一個(ge) 激光棒。

 

PowerPULSETM激光增益模塊用於(yu) 包括多種熱交換器的高能係統中,每個(ge) 模塊中都包含多根巴條的QCW陣列,與(yu) 上麵壽命測試所用的四條樣品相類似。這些模塊典型的包含20 – 200 QCW激光二極管巴條不等。因此,講四條樣品陣列作為(wei) 一個(ge) 單獨的主題,進行分析會(hui) 很有趣。因為(wei) ,這個(ge) 代表在一個(ge) PowerPULSETM激光增益模塊中的激光二極管陣列。通過把在圖3中,各個(ge) 點的不同功率值相加,然後外延這些結果。我們(men) 得到圖6所示的結果:

 

6. 從(cong) 圖3中獲得的所有4巴條樣品的總得測量輸出功率。91億(yi) 次之前的數據室測量值,超過91億(yi) 次的數據是外延得到的。

 

如果講輸出功率衰減了20%作為(wei) 衡量失效時間的話,我們(men) 從(cong) 圖6,可以看出在一個(ge) 典型的PowerPULSETM激光增益模塊中的QCW陣列的失效時間大概為(wei) 135億(yi) 次發射次數。值得指出的是,這些陣列是為(wei) 了可靠運行在相當高的輸出功率而設計。因此,為(wei) 了獲得更長的使用壽命,隨著衰減的增加,我們(men) 可以適當的提高驅動電流值。

產(chan) 品運行壽命與(yu) 重複率之間的曲線關(guan) 係在圖7中給出。這些數據是基於(yu) 135億(yi) 次產(chan) 品壽命(圖6,分析四條Golden BulletTM的壽命),並且假設是連續運行(24小時/天,7天/周)的情況下給出的。因此,這個(ge) 圖可以作為(wei) PowerPULSETM激光增益模塊的使用指導。例如,在重複率為(wei) 100Hz,數據給出的模塊壽命時間為(wei) 1500天。在所有的重複率小於(yu) 370Hz的情況下,產(chan) 品的預期壽命到高於(yu) 416天(10000小時)。#p#分頁標題#e#

 

圖7,多條Golden BulletTM QCW激光二極管陣列組裝體(ti) 壽命與(yu) 重複率的曲線關(guan) 係圖。這是PowerPULSETM激光增益模塊生產(chan) 線的代表曲線圖。      

6. 結論

Northrop Grumman Cutting Edge Optronics基於(yu) 自身的Golden BulletTM封裝技術以及高功率的QCW激光二極管條巴,發展了一係列的QCW激光二極管陣列產(chan) 品。這些產(chan) 品的代表性樣品經過了壽命測試,也表明了具有高壽命(單條的MTTF值為(wei) 198億(yi) 次,四條的MTTF值為(wei) 146億(yi) 次)。在整個(ge) 壽命測試過程中,所有的樣品都沒有發生突變,都是緩慢退化的。

NGCEO利用成功的高壽命QCW二極管陣列技術創造了QCW泵浦激光增益模塊(PowerPULSETM生產(chan) 線)。這些增益模塊能夠產(chan) 生高於(yu) 1焦耳的脈衝(chong) 能量。更重要的是,在所有的重複率小於(yu) 370Hz的情況下,產(chan) 品的預期壽命到高於(yu) 416天(10000小時)----工業(ye) 上標準的產(chan) 品壽命。因此,這些優(you) 點就可以通過脈衝(chong) 泵浦DPSS激光器獲得,並未犧牲產(chan) 品的壽命。

 

 

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