三菱電機近日宣布其獲得了一項玻璃微加工專(zhuan) 利,利用脈衝(chong) CO2激光器在玻璃襯底上獲得了直徑為(wei) 25微米的小孔,這一數值為(wei) 世界上最小。該技術將用於(yu) 玻璃電路基板以提升電子器件的性能。
10微米波長遠紅外CO2激光器被用於(yu) 透明玻璃鑽孔,三菱電機公司表示,短微秒激光脈衝(chong) 能夠減少玻璃基板鑽孔時的熱量。表麵處理技術能夠減小鑽孔直徑擴大。
通過高精度、高速電流鏡片掃描激光束能夠獲得每秒超過200個(ge) 小孔的加工速度。CO2激光器相對於(yu) 傳(chuan) 統激光器已經在工業(ye) 領域獲得廣泛應用。
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