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技術前沿

上海光機所在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進展

fun88网页下载 來源:上海光機所2023-05-26 我要評論(0 )   

近期,中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學製造與(yu) 檢測中心實驗室在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進展。研究首次證明了激光修形技術可以在近無應力條件下...

近期,中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學製造與(yu) 檢測中心實驗室在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進展。研究首次證明了激光修形技術可以在近無應力條件下,實現納米精度全頻段誤差一致性收斂。相關(guan) 研究成果以“Densi-melting effect for ultra-precision laser beam figuring with clustered overlapping technology at full-spatial-frequency”為(wei) 題發表於(yu) Optics Express。

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圖1 全空間頻率誤差收斂的激光修形示意圖;(a)“致密化-熔融”效應;(b)重疊集束工藝;(c1,c2)麵形誤差;(d1,d2)微米尺度粗糙度誤差;(e1,e2)納米尺度粗糙度誤差(f)功率譜密度曲線。

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