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技術前沿

濟南大學在8英寸铌酸鋰晶體生長技術方麵取得重要突破

fun88网页下载 來源:MEMS2023-10-23 我要評論(0 )   

日前,濟南大學前沿交叉科學研究院教授劉宏的朋友圈更新了這樣一條信息:“經過近一年的攻關(guan) ,幾十爐的摸索,德輝和他的小夥(huo) 伴們(men) 終於(yu) 掌握了完美的8英寸铌酸鋰晶體(ti) 生長技...

日前,濟南大學前沿交叉科學研究院教授劉宏的朋友圈更新了這樣一條信息:“經過近一年的攻關(guan) ,幾十爐的摸索,德輝和他的小夥(huo) 伴們(men) 終於(yu) 掌握了完美的8英寸铌酸鋰晶體(ti) 生長技術,助力大尺寸铌酸鋰薄膜製備、推動光集成光電集成器件的發展,實現我國新一代信息產(chan) 業(ye) 的全鏈條突破。路很長,但所有人都信心十足……”這一信息引來了無數點讚。

圖片

铌酸鋰晶體(ti) 材料因其具有優(you) 異的電光、聲光和非線性光學效應,隨著材料新特性逐步發展,新應用推陳出新,被廣泛認定是新一代信息產(chan) 業(ye) 關(guan) 鍵技術的核心材料。

前不久,濟南大學劉宏、孫德輝教授團隊利用提拉法成功生長出直徑8英寸(200mm)X-軸铌酸鋰單晶,這是該團隊繼2021年突破聲學芯片用Z軸、128Y等方向8英寸铌酸鋰晶體(ti) 生長技術後,铌酸鋰晶體(ti) 生長技術獲得的又一次重要突破。

近年來,基於(yu) 铌酸鋰單晶薄膜的集成光電子器件可實現單通100G以上超高帶寬的高速光調製,已經成為(wei) 國際上的研究熱點和開發的重點領域。铌酸鋰是整個(ge) 光通信世界的守門人,铌酸鋰對於(yu) 光通信來說,相當於(yu) 矽在半導體(ti) 行業(ye) 中的地位一樣。

光電子器件集成依賴的微加工工藝主流產(chan) 線為(wei) 8英寸半導體(ti) 產(chan) 線,因此,8英寸X軸铌酸鋰晶體(ti) 作為(wei) 新一代信息技術集成光電子芯片急需的基礎材料備受重視。但是,國內(nei) 市場上隻有3英寸、4英寸X軸铌酸鋰晶體(ti) 產(chan) 品,日本企業(ye) 在去年宣布實現了8英寸X軸铌酸鋰的小批量試製。所以8英寸X軸铌酸鋰晶體(ti) 成了限製我國新一代信息技術發展的關(guan) 鍵基礎材料。

濟南大學以孫德輝教授為(wei) 帶頭人的“光電功能晶體(ti) 團隊”在國家級人才劉宏的指導下,自2017年開始對各種高品質、大尺寸铌酸鋰晶體(ti) 生長技術與(yu) 器件展開研究,在國家自然科學基金、山東(dong) 省自然科學基金重大基礎研究項目和學校人才基金支持下,先後突破了8英寸Z軸和128Y軸铌酸鋰晶體(ti) 生長技術,並實現千萬(wan) 級科技成果轉化,與(yu) 企業(ye) 聯合創建了山東(dong) 恒元半導體(ti) 科技有限公司,目標實現8英寸铌酸鋰晶體(ti) 產(chan) 業(ye) 化。

未來團隊將進一步提高8英寸X軸铌酸鋰晶體(ti) 生長質量,並盡快完成中試實驗,為(wei) 我國信息產(chan) 業(ye) 基礎材料的發展提供堅實保障。

談及該技術的轉化過程,孫德輝說,工廠開始批量生產(chan) 是個(ge) 漫長的過程,包括數道準備程序:配料、混料、壓塊、燒料等多晶料準備工作,以及最關(guan) 鍵一步“保溫材料定型製作溫場”。“那個(ge) 時候我們(men) 充滿幹勁,團隊成員在暑假期間,早上從(cong) 學校出發去公司,晚上天黑才回來。在公司搭建生產(chan) 線的過程中,一天啟動一台新設備,完成一道工序,每天都充滿了成就感。”

對於(yu) 未來,團隊成員們(men) 都很有信心,光子集成芯片國產(chan) 化的道路上競爭(zheng) 很激烈,但前途很光明,值得每個(ge) 科研工作者去探索,腳步從(cong) 未停止。

來源:MEMS

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