近期,中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學製造與(yu) 檢測中心實驗室在激光近無應力燒蝕理論及工藝研究中取得新進展。
研究首次揭示了激光燒蝕過程中加工形貌及殘餘(yu) 熱應力的分布行為(wei) 及演變規律。研究建立了激光燒蝕的三維多物理場耦合模型,通過光學遲滯和應力雙折射對燒蝕後的熱應力進行了量化,成功獲得了有/無熱應力的加工判據。
同時,該模型揭示了不同加工參數下應力及形貌的時間/空間分布及其演變規律,得到的模擬結果與(yu) 實驗結果吻合較好,誤差小於(yu) 10%。本研究有助於(yu) 深入了解激光燒蝕過程,為(wei) 實現高表麵質量和近無熱應力的激光燒蝕奠定了理論基礎,對光學元件超精密製造有重要意義(yi) 。相關(guan) 研究成果發表在Optics Express上。
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