伴隨著現代光學技術的發展，熔石英元件紫外激光誘導損傷(shang) 問題嚴(yan) 重製約了高功率激光係統的發展。目前接觸式研拋工藝不可避免地會(hui) 產(chan) 生亞(ya) 表麵缺陷，且難以被後處理完全去除，這嚴(yan) 重縮短了熔石英元件使用壽命。與(yu) 此同時，傳(chuan) 統的亞(ya) 表麵缺陷檢測方法隻能對局部信息進行間接測量，難以表征深亞(ya) 表麵缺陷。

在之前的研究中【Light: Advanced Manufacturing 4(3), 181-194 (2023), Optics Express 31(22), 36359-36375 (2023)】，研究團隊基於(yu) 微秒脈衝(chong) 激光低應力均勻燒蝕技術提出了激光層析燒蝕表征亞(ya) 表麵缺陷的方法，並將其耦合到材料快速去除過程中，實現了對亞(ya) 表麵缺陷深度、分布等信息的定量獲取及有效去除。

在本項工作中，研究人員建立了考慮光場調製的激光層析燒蝕多物理場模型，並采用飛秒激光預製了不同形貌的亞(ya) 表麵缺陷，準確預測亞(ya) 表麵缺陷深度數值，揭示亞(ya) 表麵缺陷在激光逐層燒蝕下的演化規律，並提出亞(ya) 表麵缺陷深度演變的三個(ge) 階段。這表明采用本方法不會(hui) 導致亞(ya) 表麵缺陷的延伸，從(cong) 而驗證了利用激光層析燒蝕去除並表征亞(ya) 表麵缺陷的可行性與(yu) 準確性。