近日,清華大學精密儀(yi) 器係孫洪波教授和吉林大學陳岐岱教授聯合團隊,開發出一種超隱形切割技術,在包括玻璃、激光晶體(ti) 、鐵電體(ti) 等多種透明材料中實現了橫向精度10納米,深寬比超15000的納米深加工,將目前該領域國際上文獻可查的加工精度提升了10至100倍。相關(guan) 成果5月8日在線發表於(yu) 國際學術期刊《自然·光子學》。
近日,清華大學精密儀(yi) 器係孫洪波教授和吉林大學陳岐岱教授聯合團隊,開發出一種超隱形切割技術,在包括玻璃、激光晶體(ti) 、鐵電體(ti) 等多種透明材料中實現了橫向精度10納米,深寬比超15000的納米深加工,將目前該領域國際上文獻可查的加工精度提升了10至100倍。相關(guan) 成果5月8日在線發表於(yu) 國際學術期刊《自然·光子學》。
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