近日,中國科學院上海光學精密機械研究所高功率激光單元技術研發中心為(wei) 大型激光裝置研製的240毫米口徑旋光玻璃取得重要進展並實現小批量交付。
首批交付的研製產(chan) 品厚度為(wei) 24毫米,實現了全口徑範圍內(nei) 無條紋、無氣泡,透過波前畸變均優(you) 於(yu) λ/10(632.8nm),光學均勻性優(you) 於(yu) 2×10-6(圖1為(wei) ZYGO幹涉儀(yi) 透過波前畸變測試結果,圖2為(wei) 精密拋光後的產(chan) 品圖片)。
上海光機所旋光玻璃研製始於(yu) 上世紀九十年代,先後為(wei) 多個(ge) 大型激光裝置提供了大口徑旋光玻璃。旋光玻璃光隔離器廣泛應用於(yu) 激光器及高功率激光裝置中,可以有效防止係統中的反射光對光學元器件的破壞,是激光裝置係統中的關(guan) 鍵部件。此次高品質240mm口徑旋光玻璃的研製成功,標誌著上海光機所全麵掌握了高品質超大口徑旋光玻璃的生產(chan) 工藝,為(wei) 今後我國高功率激光係統的發展提供了堅實的技術保障。
透過波前畸變測試結果
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