常規的激光鑽孔工藝通常導致產生錐形孔。複雜的5軸光束轉向係統需要通過動態地調整激光束的入射角度來同步於打孔運動來最小化錐度。這些係統價格昂貴,而且難以匹配和維護。在透明材料中,傳統的振鏡掃描頭可以實現零錐孔。傳統上來說,脈衝持續時間為幾十納秒的綠色二極管泵浦固體(DPSS)激光器已被用於該工藝,導致芯片尺寸超過120μm。

激光鑽孔的硼矽玻璃
Source: Industrial laser solution
Translation: Nick
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Nick 來源:fun88网页下载2018-01-17
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