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電子加工新聞

皮秒激光器可在<20μm芯片尺寸的玻璃上實現無錐孔鑽孔

Nick 來源:fun88网页下载2018-01-17 我要評論(0 )   

麵對玻璃及其相似材料的精密零錐孔的需求日益增長, 美國AdValue Photonics公司的光纖激光器提供了一個(ge) 解決(jue) 方案。該公司光纖激光器的性能特征使芯片尺寸小於(yu) 20μm的透明...

麵對玻璃及其相似材料的精密零錐孔的需求日益增長, 美國AdValue Photonics公司的光纖激光器提供了一個解決方案。該公司光纖激光器的性能特征使芯片尺寸小於20μm的透明玻璃材料能夠進行高速零錐孔鑽孔,這種高性價比的解決方案在以前是被認為不可能的。

常規的激光鑽孔工藝通常導致產生錐形孔。複雜的5軸光束轉向係統需要通過動態地調整激光束的入射角度來同步於打孔運動來最小化錐度。這些係統價格昂貴,而且難以匹配和維護。在透明材料中,傳統的振鏡掃描頭可以實現零錐孔。傳統上來說,脈衝持續時間為幾十納秒的綠色二極管泵浦固體(DPSS)激光器已被用於該工藝,導致芯片尺寸超過120μm。

激光鑽孔
硼矽玻璃

芯片尺寸<20μm時需要皮秒激光器加工,而零錐度的要求則需要最開始為綠色DPSS激光器而開發的相同工藝。 AdValue采用EVERESTpico 1μm激光器,以1 MHz的重複頻率和M2 = 1.3的50 ps脈衝持續時間和50μJ脈衝能量進行零錐孔鑽孔過程,以常規地在高速下實現在玻璃和藍寶石芯片尺寸小於20的零錐孔微米。


Source: Industrial laser solution
Translation: Nick

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