薄片激光器以其極佳的光束質量和高效的光-光轉換效率在工業(ye) 製造業(ye) 和基礎科學研究等領域得到了日益廣泛的應用。尤其是薄片超快激光技術證明是實現大脈衝(chong) 能量、超短脈寬、高平均功率的最佳方案,也被譽為(wei) 激光工業(ye) ”皇冠上的明珠”,對於(yu) 高端製造業(ye) 、極紫外光產(chan) 生、阿秒科學等具有重要意義(yi) 。




長期以來,德國通快公司獨家引領薄片激光器的研究及產(chan) 品化,取得了巨大的商業(ye) 成功。近4年來,深圳技術大學阮雙琛教授牽頭的國家重點研發計劃“新型顯示與(yu) 戰略性電子材料”重點專(zhuan) 項支持下,項目團隊聯合聯合中國工程物理研究院上海激光等離子體(ti) 研究所、江蘇師範大學、大族激光、中國科學院半導體(ti) 研究所、江蘇第三代半導體(ti) 研究院等單位進行技術攻關(guan) ,攻克了薄片晶體(ti) 精密加工、晶體(ti) 熱沉係統設計和封裝、48衝(chong) 程泵浦係統、高穩定再生放大諧振腔和多通道放大等關(guan) 鍵核心技術,在國內(nei) 率先實現了直徑>20mm Yb:YAG薄片晶體(ti) 封裝,研製了千瓦級48衝(chong) 程泵浦係統,課題組在2024年2月,實現了國內(nei) 千瓦級超快薄片激光器的重大突破:脈衝(chong) 輸出最大平均功率1.075kW,脈衝(chong) 寬度7ps,重複頻率500-800kHz可調,最大脈衝(chong) 能量2.1mJ,光束質量M2<1.5,光斑橢圓度0.96, 為(wei) 我國阿秒光源、極紫外光刻、新能源汽車、3C電子與(yu) 芯片加工、航空航天等高端製造業(ye) ,提供先進激光光源。
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