近期,中科院理化所先進激光技術與(yu) 應用課題組基於(yu) Nd:YAG激光三倍頻產(chan) 生紫外激光的技術路線,突破了高功率納秒調Q脈衝(chong) 振蕩、低波前畸變行波放大、紫外強激光薄膜製備、高抗損傷(shang) 高穩定性紫外變頻等係列關(guan) 鍵技術,研製出百瓦級大能量納秒脈衝(chong) 紫外固體(ti) 激光器樣機。
該樣機通過了專(zhuan) 家組現場測試,獲得355nm激光平均功率138.8W、單脈衝(chong) 能量達180mJ、脈衝(chong) 寬度26.6ns、重複頻率800Hz,連續工作8h功率不穩定度<1.8%,綜合指標達到國內(nei) 領先、國際先進。該百瓦級大能量納秒脈衝(chong) 紫外固體(ti) 激光器在超精密冷加工、激光退火、激光鍍膜、激光摻雜等領域具有重要應用。
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